俄歇电子能谱仪Auger | 爱发科 ULVAC

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上海伯东 代理 爱发科 ULVAC-PHI是全球领先的超高真空表面分析仪器供应商。专注于研发和生产表面分析仪器,包括光电子能谱仪(XPS)、俄歇电子能谱仪(AES)、飞行时间二次离子质谱仪(Tof-SIMS)和动态二次离子质谱仪(D-SIMS)。通过提供独特的技术解决方案,帮助客户解决各种具有挑战性的问题,从而加速新产品和新技术的发展。产品应用领域包括纳米技术、太阳能技术、微电子技术、存储介质、催化、生物材料、药品以及金属、矿物、聚合物、复合材料和涂料等基础材料。

AES (Auger Electron Spectroscopy) 是利用电子束电离激发原子内层电子,探测退激发过程出射的俄歇电子,获得样品表面的组成及化学性质的分析方 法。AES 不仅表面灵敏,而且具有纳米级的空间分辨率,因此广泛应用于半导 体器件、微电子器件和材料科学等研究。

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