研发用小型离子束刻蚀设备

• Hakuto 离子蚀刻机 10IBE | 上海伯东

量产用中型离子束刻蚀设备

• Hakuto 离子蚀刻机 20IBE-C | 上海伯东

KRI 射频离子源 Gridded RFICP

• 美国 KRI 射频离子源 RFICP 380

• 美国 KRI 射频离子源 RFICP 系列

• 美国 KRI 射频离子源 RFICP 220

• 美国 KRI 射频离子源 RFICP 140

• 美国 KRI 射频离子源 RFICP 100

• 美国 KRI 射频离子源 RFICP 40

• KRI Discharge chamber 放电腔 | 美国 KRI 离子源配件

• KRI 离子源绝缘珠 | 美国 KRI 离子源配件

• KRI 离子源石英杯（主源 RFICP220）| 美国KRI 离子源配件

• RFICP 220 3D 栅网（带陶瓷珠）| 美国 KRI 离子源配件

KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC

• 美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列

• 美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 160

• 美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 100

• 美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 75

• 美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 40

• 美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 10

KRI 霍尔型离子源 Gridless eH系列

• 美国 KRI 霍尔离子源 Gridless eH 系列

• 美国 KRI 霍尔离子源 eH 3000

• 美国 KRI 霍尔离子源 eH 2000

• 美国 KRI 霍尔离子源 eH 1000

• 美国 KRI 霍尔离子源 eH 400

• 美国 KRI 线性霍尔离子源 eH Linear

KRI 离子源中和器

• 美国 KRI 离子源中和器 LFN2000

• 美国 KRI 离子源中和器 LHC1000

• 美国 KRI 离子源中和器 MHC1000

• KRI 中和器 Keeper 保持极 | 美国KRI 离子源

• KRI LFN 中和器灯丝 | 美国 KRI 离子源

KRI 模块化离子源电源

• 美国 KRI 直流 (DC) 溅射电源

• 美国 KRI 脉冲直流溅射电源

ASM 系列

• 氦质谱检漏仪 ASM 340 | 普发 pfeiffer

• 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 | 普发 pfeiffer

• 便携式氦质谱检漏仪 ASM 310 | 普发 pfeiffer

• 氢氦双检吸枪检漏仪 ASM 306 S | 普发 pfeiffer

• 氦质谱检漏仪 ASM 1002 | 普发 pfeiffer

• 控制台式氦质谱检漏仪 ASM 192 T | 普发 pfeiffer

• 氦质谱检漏仪 ASM 182 T | 普发 pfeiffer

• 吸枪氦质谱检漏仪 ASM 142 S | 普发 pfeiffer

• 氦质谱检漏仪 ASM 142 | 普发 pfeiffer

• 吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S | 普发 pfeiffer

• 氦质谱检漏仪 HLT 560 | 普发 pfeiffer

• 便携式氦气检漏仪 MiniTest 300 | 普发 pfeiffer

ASI 系列

• 模块化氦质谱检漏仪 ASI 35 | 普发 pfeiffer

定制化泄漏检测解决方案

• 电压开关装置氦质谱检漏系统 | 普发 pfeiffer

• 燃料箱氦质谱检漏系统 | 普发 pfeiffer

氦质谱检漏仪配件

• 检漏仪吸枪探头 | 普发 pfeiffer

• 检漏仪无线遥控器 | 普发 pfeiffer

• 检漏仪氦气喷枪 | 普发 pfeiffer

四极杆质谱仪 (QMS)

• 在线质谱分析仪 OmniStar ThermoStar | 普发 pfeiffer

• 在线质谱仪 OmniStar/ThermoStar GSD 350 | 普发 pfeiffer

• 四极杆质谱仪 HiQuad Neo | 普发 pfeiffer

• 四极杆质谱仪 PrismaPro F QMG 250 | 普发 pfeiffer

• 四级杆质谱仪 PrismaPro M QMG 250 | 普发 pfeiffer

• 质谱分析仪 SPM 220 | 普发 pfeiffer

• 高压质谱分析仪 HPA 220 | 普发 pfeiffer

残余气体分析系统 (RGA)

• 残余气体分析系统 RGA OmniGrade | 普发 pfeiffer

• 残余气体分析仪 HiCube Neo RGA | 普发 pfeiffer

涡轮分子真空泵

• ATH 4506 M/MT 涡轮分子真空泵 | 普发 Pfeiffe

• 涡轮分子泵 HiPace 10-300 | 普发 pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 350-800 | 普发 pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 300-800M，ATH 500 M | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 1200-2300 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 10 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 30 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 60P | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 80 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 80 Neo | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 300 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 300 H | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 300 M | 普发 pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 700 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 400 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 700 H | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 700 M | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 800 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 800 M | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 1200 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 1500 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 1800 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 2300 | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 HiPace 2800 IT | 普发 Pfeiffer

• 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 500 M | 普发 Pfeiffer

• 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600 MT | 普发 Pfeiffer

• 磁悬浮涡轮分子泵 ATH-M / ATP-M | 普发 Pfeiffer

• 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1603 M | 普发 Pfeiffer

• 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 2300 M | 普发 Pfeiffer

• 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 2804 M | 普发 Pfeiffer

• 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 3204 M | 普发 Pfeiffer

• 磁悬浮涡轮分子泵 ATP 2300 M | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵 SplitFlow 50 | 普发 pfeiffer

• 涡轮分子泵 Adixen MDP 5011 | 普发 pfeiffer

• 涡轮分子泵 TPH1501 | 普发 pfeiffer

• 干式侧槽高真空泵 OnTool Booster 150 | 普发 pfeiffer

涡轮分子真空泵机组

• 经济型分子泵组 HiCube Eco | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵组 Hicube 80 Eco | 普发 Pfeiffer

• 涡轮分子泵组 HiCube Neo | 普发 Pfeiffer

• 标准型分子泵组 HiCube Classic | 普发 Pfeiffer

• 高性能分子泵组 HiCube Pro | 普发 Pfeiffer

罗茨泵

• 风冷罗茨泵 OktaLine | 普发 Pfeiffer

• 防爆罗茨泵 OktaLine ATEX | 普发 Pfeiffer

• 气冷罗茨泵 OktaLine G | 普发 Pfeiffer

• 罗茨泵 HiLobe 1001 | 普发 Pfeiffer

罗茨泵组

• 罗茨泵组 CombiLine WD 系列 | 普发 Pfeiffer

• 罗茨泵组 CombiLine WU 系列 | 普发 Pfeiffer

多级罗茨泵

• 干式真空泵 ACP 15,ACP 28,ACP 40,ACP 90 | 普发 Pfeiffer

• 干式真空泵 ACP 90 | 普发 Pfeiffer

• 干式真空泵 ACP 120 | 普发 Pfeiffer

• 干式真空泵组 ACG 600 | 普发 Pfeiffer

• 干式真空泵 A4X 系列 | 普发 Pfeiffer

• 干式真空泵 A 100 L,A 200 L | 普发 Pfeiffer

隔膜泵

• Pfeiffer 隔膜泵 MVP 系列 | 普发 Pfeiffer

旋片泵

• 单级旋片泵 Pascal 1005 | 普发 Pfeiffer

• 双级旋片泵 Pascal SD 系列 | 普发 Pfeiffer

• 双级旋片泵 Pascal I 系列 | 普发 Pfeiffer

• 双级旋片泵 Pascal C1 系列 | 普发 Pfeiffer

• 双级旋片泵 Pascal C2 系列 | 普发 Pfeiffer

• 双级旋片泵 DuoLine | 普发 Pfeiffer

• 防爆型双级旋片泵 DUO 11 ATEX | 普发 Pfeiffer

• 双极旋片泵 DuoVane 20 | 普发 Pfeiffer

• 单级旋片泵 UnoLine Plus | 普发 Pfeiffer

• 单级旋片泵 Uno6, Uno 3 | 普发 Pfeiffer

• 单级旋片泵 HenaLine | 普发 Pfeiffer

• 双级旋片泵 PentaLine | 普发 Pfeiffer

螺杆泵

• 干式螺杆泵 HeptaDry | 普发 Pfeiffer

涡旋泵

• 涡旋干泵 HiScroll | 普发 Pfeiffer

• 干式涡旋泵 HiScroll 6 | 普发 Pfeiffer

• 干式涡旋泵 HiScroll 12 | 普发 Pfeiffer

• 干式涡旋泵 HiScroll 18 | 普发 Pfeiffer

Pfeiffer 普发真空泵配件

• 真空泵油 P3油, inland 45 oil, D2油 | 普发 Pfeiffer

• ISO-KF 法兰 | 普发 Pfeiffer

ActiveLine 模拟信号真空计

• 皮拉尼真空计 TPR 270,TPR 280 | 普发 pfeiffer

• 真空计套装 TPG361 + TPR280 | 普发 pfeiffer

• 全量程真空计 PKR 系列 | 普发 pfeiffer

• 皮拉尼电容真空计 PCR 280 | 普发 pfeiffer

• 冷阴极真空计 IKR 系列 | 普发 pfeiffer

• 电容薄膜真空计 CMR 系列 | 普发 pfeiffer

• 应力薄膜真空计 APR 250-267 | 普发 Pfeiffer

• 真空计显示控制器 ActiveLine | 普发 pfeiffer

• 模拟信号真空计 ActiveLine | 普发 Pfeiffer

CenterLine 通用调节型真空计

• 电容薄膜真空计 CCR 系列 | 普发 Pfeiffer

• 通用调节型真空计 CenterLine | 普发 Pfeiffer

DigiLine 数字信号真空计

• 数字型真空计 DigiLine | 普发 pfeiffer

ModuLine 抗辐射真空计

• 热阴极真空计 PBR 260 IMR 265 | 普发 Pfeiffer

• 模块化真空计 ModulLine | 普发 Pfeiffer

手持式真空测量仪

• 手持真空计 TPG 202 Neo | 普发 pfeiffer

• 手持真空计 TPG 201,TPG 202 | 普发 pfeiffer

真空测量套件

• 双通道真空计显示器 DPG 202 | 普发 Pfeiffer

• 模块化真空计显示控制器 IMG 400 | 普发 Pfeiffer

通用控制器 OmniControl®

• 通用控制器 OmniControl 001 | 普发 Pfeiffer

• 通用控制器 OmniControl 200 | 普发 Pfeiffer

• 通用控制器 OmniControl 300 | 普发 Pfeiffer

磁悬浮涡轮分子泵

• 涡轮分子泵 ATH 400M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

• 涡轮分子泵 ATH 500M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

• 涡轮分子泵 ATH1000M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

• 涡轮分子泵 ATH 1300M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

• 涡轮分子泵 ATH 1600M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

• 涡轮分子泵 ATH 1603M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

• 涡轮分子泵 ATH 2300M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

• 涡轮分子泵 ATH 2303M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

• 涡轮分子泵 ATH 2800M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

• 涡轮分子泵 ATH 3200M | Adixen Alcatel 阿尔卡特

氦质谱检漏仪

• 氦质谱检漏仪 ASM 340 D | Adixen Alcatel 阿尔卡特真空

干泵

• 干式真空泵 A3H 系列 | Adixen Alcatel 阿尔卡特真空

• 干式真空泵 ADH系列 | Adixen Alcatel 阿尔卡特

旋片泵

• 单级旋片泵 Pascal 1005 | Adixen Alcatel 阿尔卡特真空

HVA 真空矩形阀

• HVA 矩形真空阀门 (插板阀) 88200 系列

• HVA 半矩形真空闸阀 28200系列

HVA 真空闸阀, 真空插板阀

• HVA 不锈钢真空闸阀 11000 系列

• HVA 真空层流闸阀 13000系列

• HVA 真空隔离闸阀 16000 系列

• HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列

• HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列

• HVA 真空闸阀 真空插板阀 71000 系列

• HVA 真空闸阀 真空插板阀 81000 系列

HVA 球阀

• HVA 不锈钢球阀 2000系列

Gel-Pak 芯片包装盒

• Gel-Box® 芯片包装盒 AD 系列

• Vertec™ 芯片包装盒 AV 系列

• Gel-Box™ 芯片包装盒 APV 系列

• Gel-Tray® 凝胶托盘 BD 系列

• Gel-Pak BMP 凸点芯片载具

• Gel-Slide™ 凝胶玻片 CD 系列

• Gel-Pak 膜盒 MB

• Gel-Pak GEM 珠宝首饰盒

• Gel-Pak Vertec® VFM 系列产品 专用于 FAC（快轴准直镜）的承载盘

• Gel-Pak 华夫盒用盖 / 夹系统 LCS2™

Gel-Pak 真空释放托盘及工具

• Gel-Pak 真空释放胶盒 VR

• 真空手泵 ( VHP-24 )

• 集成真空台 / 拾取工具 ( GP-TrayVac / A）

• Pen-Vac 真空拾取工具（ VPV ）

• 真空释放台 ( VRS-24 )

• 真空泵系统 GP-PortaVac

• 带盖 VR 托盘外夹 ( -00B 款需要使用 )

•  晶圆 / 大规格 VR真空板（VP-900）

• Gel-Pak 纳米器件托盘 NDT

• Gel-Pak 2英寸黑色导体级卡扣

Gel-Pak PDMS胶膜

• Gel-Pak 新产品 Vertec 新型无硅弹性体材料

• Gel-Pak DGL 胶膜

• Gel-Pak PF 胶膜

• Gel-Pak WF 胶膜

Gel-Pak 纹理化晶粒载具

• BTXF / TXF 纹理化晶粒载具与薄膜 | Gel-Pak

• WPX 纹理化晶粒载具 | Gel-Pak

Temptronic BT 28台式热流测试系统

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Temptronic Eco 环保型热流测试系统

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Temptronic ThermoSpot 接触式高低温测试机

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Thermonics 超低温冷水机组

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Thermonics 超低温气体制冷机

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Sigma Platforms & Plates 热流平台与热流板

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Ambrell EASYHEAT 高频感应加热

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Ambrell EKOHEAT ® 高频感应加热系统

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• Ambrell EKOHEAT 高频感应加热设备 25 kHz 系列

• Ambrell EKOHEAT 高频感应加热设备 100 kHz 系列

Busch普旭 涡旋真空泵

• 涡旋真空泵 FOSSA FO 0015 A

Busch普旭 罗茨泵

• 罗茨真空泵 PUMA WY 0500–2000 C

• 罗茨真空泵 PANDA WV 0250/0500 C

Busch普旭 干式螺杆真空泵

• 干式螺杆真空泵 COBRA NS 0070–0600 C

• 干式螺杆泵 COBRA BA 0100 C

Busch普旭 油润滑旋片真空泵

• 油润滑旋片真空泵 R5 RA 0165–0305 D

• 油润滑旋片真空泵 R5 RA 0063/0100 F

• 油润滑旋片真空泵 R5 RD 0200–0360 A

• 双级油润滑旋片真空泵 ZEBRA RH 0030–0090 B

• 双级油润滑旋片真空泵 ZEBRA RH 0015–0021 B

• 双级油润滑旋片真空泵 ZEBRA RH 0003–0010 B

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• TEMP 300 | Boe-Therm 油温机

• TEMP 350 | Boe-Therm 油温机

BOE-THERM 水温机

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• Temp 120M | Boe-Therm 水温机

• Temp 120S | Boe-Therm 水温机

• Temp 140S | Boe-Therm 水温机

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