OmniGrade 残余气体（RGA）分析系统

OmniGrade

OmniGrade

产品描述

上海伯东代理的Pfeiffer 普发 OmniGrade 是一种先进的残余气体分析系统，其设计旨在满足特定的测试要求。普发真空专家团队针对这些要求，在兼顾总成本和交货时间的因素的同时开发了满足各种需求的解决方案。

一种配置含有两个或三个腔室。它由放置质谱仪的光谱仪室和在测量过程中放置样品的测量室组成。为了最大限度地减少系统基板和通过自动传输系统的样品传输，可以选配锁定室。OmniGrade 专为占地面积小、操作便捷与最新界面集成而设计。也可兼容一个洁净室。可根据需求选择质谱仪（PrismaPro 或 HiQuad）。无论是纯系统还是与样品一起（烘干）的热力加热，都有助于进一步优化测量能力并提高样品纯度。

"OmniGrade 采用了节能组件和先进技术设计，以减少浪费和排放。它有助于优化检查纯度的流程，从而减少客户生产中的浪费并更有效地利用资源”，普发真空仪器战略产品经理 Patrick Walther 在精密博览会上说道。

产品优势
技术参数
应用领域

OmniGrade 残余气体（RGA）分析系统产品优势：

1. 使用模块化系统根据您的需求定制执行

2. 检测限低

3. 全自动测量过程

4. 全球服务网络

5. 根据 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 进行测试

OmniGrade 残余气体（RGA）分析系统技术参数：

技术参数：

型号	OmniGrade
样本尺寸(三室系统)	最大150 x 150 x 150 mm³
样本尺寸(两室系统)	最大700 x 700 x 700 mm³
极限压力	< 5·10^-10 hPa
真空泵	Hipace 300 M和干式前级泵
总压测量	Pirani/Bayard-Alpert HPT 200
分压测量	四极质谱计PrismaPro或HiQuad
加热	加热套温度最高可达180°C
冷却	无硅热流体温控制冷系统
系统尺寸 (长 x 宽 x 高)	1.1 m x 1.9 m x 2.3 m

OmniGrade 残余气体分析系统配置：

OmniGrade	三腔室系统	二腔室系统
参考图片
分析目的	低放气率小零件的分析	中型零件测试
最大腔室尺寸	DN 160/250	750 x 750 x 750 mm
测量设计	With Load Lock	Without Load Lock
分子泵	全磁浮或者复合轴承	全磁浮或者复合轴承
质谱分析仪	HiQuador 或PrismaPro	HiQuador 或PrismaPro
密封闸阀	金属	金属或氟橡胶
校准	手动或自动
洁净室兼容	可选
温度控制系统	主动或被动

OmniGrade 残余气体（RGA）分析系统应用领域：

1. 半导体生产中的EUV光刻

2. 电子显微镜

3. 超高真空 (UHV) 中的应用

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