OmniGrade 残余气体（RGA）分析系统

残余气体分析系统 RGA OmniGrade | 普发 pfeiffer

OmniGrade

OmniGrade 残余气体分析仪
OmniGrade

产品描述

上海伯东代理的Pfeiffer 普发 OmniGrade OmniGrade 是一款高性能、模块化的残余气体分析系统，适用于超高真空环境下的全自动气体分析与过程监控。系统支持两种样品室配置（三室/两室），配备 PrismaPro 或 HiQuad Neo 四极杆质谱仪进行分压管理，符合通用标准 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221。

OmniGrade 系统采用模块化设计，可根据具体工艺需求进行个性化配置。配备全高清触摸屏 PLC 用户界面，实现全自动化测量与控制。系统集成高效真空泵组、温度控制与校准模块，适用于研发、高能物理、超高真空等领域的精密气体分析。

产品优势
技术参数
应用领域
尺寸图

残余气体分析系统 RGA OmniGrade | 普发 pfeiffer 产品优势：

1. 性能卓越：检测限低，测量过程全自动化，确保高精度与高重复性。

2. 久经验证：符合通用标准 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221，适用于严苛的工业与科研环境。

3. 灵活性强：模块化设计，支持三室或两室系统，适应不同样品尺寸与分析需求。

4. 集成化高：集真空、温控、校准、质谱分析于一体，操作简便，系统稳定。

残余气体分析系统 RGA OmniGrade | 普发 pfeiffer 技术参数：

参数	规格
系统类型	OmniGrade 残余气体分析系统
样品尺寸（三室系统）	最大 150×150×150 mm³
样品尺寸（两室系统）	最大 700×700×700 mm³
极限压力	< 5×10⁻⁹ hPa
真空泵	HiPace 300 M + 干式前级真空泵
总压管理	皮拉尼 / Bayard-Alpert HPT 200
分压管理	四极杆质谱仪 PrismaPro 或 HiQuad Neo
加热方式	带加热套，最高 180℃
冷却方式	无硅导热液温控系统
校准方式	UHV 全金属泄漏阀门 + 校准气体
抽速测定	配备氮气校准泄漏
用户界面	PLC，搭配 19 英寸全高清触摸显示屏
系统尺寸（L×W×H）	1.1 × 1.9 × 2.3 m

OmniGrade 残余气体分析系统配置：

OmniGrade	三腔室系统	二腔室系统
参考图片
分析目的	低放气率小零件的分析	中型零件测试
最大腔室尺寸	DN 160/250	750 x 750 x 750 mm
测量设计	With Load Lock	Without Load Lock
分子泵	全磁浮或者复合轴承	全磁浮或者复合轴承
质谱分析仪	HiQuador 或PrismaPro	HiQuador 或PrismaPro
密封闸阀	金属	金属或氟橡胶
校准	手动或自动
洁净室兼容	可选
温度控制系统	主动或被动

残余气体分析系统 RGA OmniGrade | 普发 pfeiffer 应用领域：

1. 研发领域：高能物理、超高真空研究、材料表面分析

2. 工业过程监控：真空镀膜、半导体工艺、真空热处理

3. 校准与认证：符合通用标准 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 的测试环境
残余气体分析系统 RGA OmniGrade | 普发 pfeiffer 尺寸图：

查看其他产品