OmniGrade 残余气体(RGA) 分析系统

OmniGrade

产品描述

       上海伯东代理的Pfeiffer 普发 OmniGrade 是一种先进的残余气体分析系统,其设计旨在满足特定的测试要求。普发真空专家团队针对这些要求,在兼顾总成本和交货时间的因素的同时开发了满足各种需求的解决方案。

        一种配置含有两个或三个腔室。它由放置质谱仪的光谱仪室和在测量过程中放置样品的测量室组成。为了最大限度地减少系统基板和通过自动传输系统的样品传输,可以选配锁定室。OmniGrade 专为占地面积小、操作便捷与最新界面集成而设计。也可兼容一个洁净室。可根据需求选择质谱仪(PrismaPro 或 HiQuad)。无论是纯系统还是与样品一起(烘干)的热力加热,都有助于进一步优化测量能力并提高样品纯度。

       "OmniGrade 采用了节能组件和先进技术设计,以减少浪费和排放。它有助于优化检查纯度的流程,从而减少客户生产中的浪费并更有效地利用资源”,普发真空仪器战略产品经理 Patrick Walther 在精密博览会上说道。

  • 产品优势
  • 技术参数
  • 应用领域
  • OmniGrade 残余气体(RGA) 分析系统 产品优势:

    1. 使用模块化系统根据您的需求定制执行

    2. 检测限低

    3. 全自动测量过程

    4. 全球服务网络

    5. 根据 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 进行测试

  • OmniGrade 残余气体(RGA) 分析系统 技术参数:

    技术参数:

    型号

    OmniGrade
    样本尺寸(三室系统) 最大150 x 150 x 150 mm³
    样本尺寸(两室系统) 最大700 x 700 x 700 mm³
    极限压力 < 5·10-10 hPa

    真空泵

    Hipace 300 M和干式前级泵
    总压测量 Pirani/Bayard-Alpert HPT 200
    分压测量 四极质谱计PrismaPro或HiQuad
    加热 加热套温度最高可达180°C
    冷却 无硅热流体温控制冷系统
    系统尺寸 (长 x 宽 x 高) 1.1 m x 1.9 m x 2.3 m

     

     

    OmniGrade 残余气体分析系统配置:

     OmniGrade 三腔室系统 二腔室系统
    参考图片  OmniGrade 残余气体分析系统  OmniGrade 残余气体分析系统
    分析目的 低放气率小零件的分析 中型零件测试
    最大腔室尺寸 DN 160/250 750 x 750 x 750 mm
    测量设计 With Load Lock Without Load Lock
    分子泵 全磁浮或者复合轴承 全磁浮或者复合轴承
    质谱分析仪 HiQuador 或PrismaPro HiQuador 或PrismaPro
    密封闸阀 金属 金属或氟橡胶
    校准 手动或自动
    洁净室兼容 可选
    温度控制系统 主动或被动
  • OmniGrade 残余气体(RGA) 分析系统 应用领域:

    1. 半导体生产中的EUV光刻

    2. 电子显微镜

    3. 超高真空 (UHV) 中的应用

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