PHI 710俄歇电子能谱仪
PHI公司的PHI710扫描俄歇纳米探针是一款高性能的俄歇电子能谱仪,专为纳米级特征区域和多层结构表界面的元素态及化学态分析设计。具备高空间分辨率(SEM≤3nm,AES≤8nm)、高灵敏度及高能量分辨率等特点,适用于半导体、显示器、磁性存储器件及各类材料的缺陷分析、污染分析等。配有同轴筒镜分析器,确保全面表征复杂样品,并提供用户友好界面和多功能数据处理软件。
1. 使用CMA同轴分析器,实现360度高灵敏度和高传输率分析。即使在低电流情况下(高空间分辨率),都可轻松进行分析。
2. 以20kV加速电压和1nA电流进行俄歇分析,AES空间分辨率可达8nm。
3. 在保有所有CMA的优点同时,结合获得美国真空协会AVS设计奖的高能量分辨率功能,AES可以进行各种纳米级区域的化学态分析
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