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Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 技术参数：
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型号
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ASM 390
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ASM 392
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ASM 380 已停产
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检测气体
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4He, 3He, H2
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最小检测漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
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对氦气的抽速
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10 l/s
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25 l/s, 内置2台分子泵
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7 l/s
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前级泵抽速
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35 m3/h
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进气口最大压力
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20 mbar
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20 mbar
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15 mbar
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无校准的启动时间(20°C)
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2 min
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2 min
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< 4.5 min
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进气口
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DN 40 ISO-KF
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响应时间
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< 1 s
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Interface, 选配
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RS-232, I/O, Ethernet
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噪音
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≤ 55 dB (A)
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≤ 55 dB (A)
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53 dB (A)
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重量
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125 kg
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130 kg
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110 kg
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尺寸(LxWxH)
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1072 x 455 x 1025 mm
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1072 x 455 x 1025 mm
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1065 X 455 X 1025 mm
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Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 产品特性：
1. 强大的抽空能力, 粗抽能力 35 m3/h, 实现快速排空
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可旋转和拆卸
4. 氦质谱检漏仪符合人体工学设计, 移动性强
5. 符合 Semi S2 标准
6. 干燥清洁的检漏过程
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Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 在售型号：
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 目前在售型号:
ASM 390, 通用电压
ASM 390, 通用电压, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板,以太网
ASM 390, 通用电压,可配置的 I/O 接口板,以太网, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 390, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 通用电压
ASM 392, 通用电压, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 25 ISO-KF
ASM 392, 通用电压, 可配置的 I/O 接口板, 以太网, 可连接的排气管 DN 40 ISO-KF
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Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 产品应用：
可用于半导体和平板显示器行业以及其他要求严苛的应用
半导体行业
大面积镀膜
太阳能行业
加速器
真空组件 – 馈通、阀门、波纹管、伸缩接头
激光技术
超纯介质供应
电子部件
航空工程
医疗技术
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