干式真空泵(多级罗茨泵)

干式真空泵 ACP 90

上海伯东代理普发Pfeiffer 干式罗茨泵 ACP 90, 采用干式多级罗茨技术，SD 型，最高抽气速率为 90 m³/h 的 ACP 泵。在高压下具有较高抽气速率。ACP 90 采用无摩擦设计，无颗粒污染：泵送气体路径中无易损件, 得益于高流量气镇与耐化学腐蚀的泵材料的结合：SD 型能够抽出高达 2.4 Kg/h 的水蒸气。
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干式真空泵组 ACG 600

上海伯东代理德国 Pfeiffer 干式真空泵(多级罗茨泵) ACG 600, 抽速最大 560 m3/h, 是干式真空泵 ACP 120 与罗茨泵的完美组合, 干式真空泵 ACG 600 是满足工业应用的干泵. 提供清洁无油的真空环境, 集成氮气吹扫阀门适用于少量腐蚀性或凝性气体.
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干式真空泵 ACP 120

干式真空泵 ACP 120 无须润滑油, 无粉尘颗粒污染, 低能耗.无摩擦设计，可靠性高、开销低. 可高达300 mbar近10 m3体积的抽空能力. 预防性维修约17000小时.
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干式真空泵 A 100 L,A 200 L

上海伯东销售维修 Pfeiffer 干式真空泵（多级罗茨泵）A 100 L-A 200 L, 用于洁净制程的整体式干泵, 紧凑设计, 大抽速, 低能耗, 满足半导体行业机台内直接安装和快速抽空的设计要求, 是load-lock、传送腔及其他非腐蚀性工艺的完美解决方案.

干式真空泵 A 100 L-A 200 L平均故障间隔时间超过 195000 小时, 提供干燥无尘的洁净真空. 低噪音和低振动是该水冷型干泵的其他优势, 小巧的体积保证了其在大型机台内集成的便利性, 是各大设备厂商首选.
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干式真空泵 ACP 15 / 28 / 40

上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer 气冷型干式真空泵(多级罗茨泵) ACP 15/28/40 系列, 清洁无油, 满足洁净干燥真空工艺的要求! 干式真空泵 ACP 系列抽速范围 15 至 40 m3/h, 极限真空度 10-2 hPa. 干式真空泵 ACP 15/28/40提供标准版本 SD 系列, 抗腐蚀版本 G 系列和耐水汽版本 CV 系列, SH 无氟版本和 CP 气体回收版本.
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