涡轮分子泵 HiPace 2800 IT
上海伯东德国 Pfeiffer 新推出离子注入系统专用涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT.
在离子注入系统中, 氢气等小分子气体的抽速非常重要, 此款涡轮分子泵精巧的转子设计保证小分子气体绝佳的抽速, 确保了针对离子注入工艺的最佳工艺适应性, 涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 针对氢气抽速高达 2600 l / s, 是同级别分子泵中佼佼者.
涡轮分子泵 HiPace 2800 IT 采用智能温度管理系统, 减少泵系统内部的工艺冷凝和沉积, 该系统允许单独设置温度, 确保涡轮分子泵能够最佳地适应工艺需求. 镀镍转子确保泵本身耐用性.
1. 氢气抽速高达 2600 l / s
2. 镀镍转子更耐用
3. 采用智能温度管理系统,能自适应工艺条件, 减少泵内冷凝和沉积
4. 使用寿命更长
法兰(进气端) |
DN 250 ISO-F |
法兰(出气端) |
DN 40 ISO-KF |
排气连接 |
G 1/8“ |
氮气抽速 |
2,300 l/s |
氩气抽速 |
2,100 l/s |
氦气抽速 |
2,900 l/s |
氢气抽速 |
2,600 l/s |
转速 |
±2 % 27,300 rpm |
运行时间 |
8.6 min |
在全转速情况下的氮气气流量 |
16 hPa l/s |
在全转速情况下的氩气气流量 |
11 hPa l/s |
在全转速情况下的氢气气流量 |
50 hPa l/s |
在全转速情况下的氦气气流量 |
24 hPa l/s |
氮气压缩比 |
> 1X108 |
氩气压缩比 |
> 1X108 |
氦气压缩比 |
6X104 |
氢气压缩比 |
4X103 |
氮气最大前级真空 |
0.8 hPa |
根据 PNEUROP 的极限压力 |
< 1X10-7 hPa |
重量 |
62 kg |
冷却方法 |
水 |
冷却水耗量 |
100 l/h |
冷却水温度 |
15 – 25 °C |
接口 |
E74, RS-485 |
最大允许磁场 |
3.4 mT |
声压水平 |
< 50 dB(A) |
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT 在售型号:
型号 |
订货号 |
HiPace 2800 IT |
PM P05 241 |
HiPace 2800 IUT |
PM P05 246 |
涡轮分子泵 HiPace® 2800 IT尺寸:
1. 离子注入机
2. 苛刻工艺
您好, 我们的联络方式:
电话: +86-21-5046-1322
地址: 上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 201206