上海伯东 HVA 真空阀在半导体中的应用
在半导体制造这一高精度领域，环境的稳定性和可控性是确保半导体质量和性能的关键因素。其中，气体流量和压力的精确控制尤为重要，因为微小的变化都可能对最终产品产生重大影响。真空阀门作为一种关键部件，在半导体制造过程中发挥着不可或缺的作用。
二、真空阀门在半导体制造中的应用
（一）精确控制气体流量和压力
在半导体制造设备中，真空阀门被广泛用于精确控制气体进入或离开反应室的流量，从而确保反应室内的压力稳定。这对于半导体晶片的生长质量和性能保障至关重要。例如，在化学气相沉积（CVD）或物理气相沉积（PVD）等工艺过程中，精确的气体流量和压力控制是实现高质量薄膜沉积的基础。
（二）维持真空环境
镀膜是半导体制造中的常见技术，通过在半导体表面覆盖一层薄膜，可以改变其电学、光学或机械性质。在这个过程中，真空环境是必不可少的，因为任何气体杂质都可能影响镀膜的质量和均匀性。真空阀门能够精确地控制气体的流动，从而维持所需的真空环境，确保镀膜质量和效率。
三、HVA 真空阀门产品特点及优势
伯东企业（上海）有限公司代理的美国第一大阀门制造商 HVA 的真空阀门产品，具有众多卓越特性。
1. 密封可靠
采用先进的密封技术，确保在各种工况下都能有效防止气体泄漏，保证系统的真空度和稳定性。
2. 动作平稳
阀门的开闭动作平稳，避免了因突然的压力变化或机械冲击对系统造成的不良影响。
3. 操作灵活
操作人员可以方便地对阀门进行操作，无论是手动操作还是通过自动化控制系统进行远程操作，都能实现精准控制。
4. 容易清洗
其结构设计便于清洗，这对于保持阀门的性能和延长使用寿命至关重要，尤其是在半导体制造这种对洁净度要求极高的环境中。
5. 密封部件耐磨性好
密封部件采用高品质材料，具有良好的耐磨性，能够在长时间的使用过程中保持良好的密封性能，减少维护成本。
6. 使用寿命长
综合上述优点，使得 HVA 真空阀门具有较长的使用寿命，能够满足半导体制造过程中长时间、高强度的使用需求。
7. 可快速开关、防抱死功能
能够快速响应系统的控制指令，实现快速开关，同时具备防抱死功能，确保阀门在各种复杂工况下都能正常工作。
8. 紧凑型设计
紧凑的设计使得阀门在半导体制造设备中能够节省空间，便于系统的集成和布局优化。
这些优点使得美国 HVA 的真空阀门成为半导体工艺中不可或缺的关键部件。
四、HVA 11000 系列真空阀门产品介绍
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（一）产品概述
11000 系列标准循环闸阀专为高真空和超高真空应用而设计。适用于多种法兰类型，包括 KF、ISO - F、ISO - K、CF - F、ASA 和 JIS 等，可应用于低温泵、涡轮泵、离子泵等多种设备。
（二）技术规格
a. 材料
阀体和闸板：采用 304 不锈钢材料，具有良好的耐腐蚀性和机械性能。
焊接波纹管轴封：使用 AM - 350 材料，确保密封性能。
阀盖 / 闸板密封：采用 HV、Viton 弹性体以及 HV、铜 / Viton 弹性体等材料，提供可靠的密封效果。
b. 压力范围
真空压力范围为mbar 至mbar。
氦泄漏率小于mbarl/s。
关闭时的压差在任一方向为 1 bar。
打开前的最大压差为 30 mbar。
c. 温度范围
无电磁阀时，烘烤温度为 150°C。
弹性体密封阀盖时，阀门打开温度为 200°C，关闭温度为 150°C。
金属密封阀盖时，阀门打开温度为 200°C，关闭温度为 150°C。
d. 执行器
手动操作时，温度为 60°C。
气动操作时，温度为 60°C。
机制压力为 80 psig。
气动空气服务时，电磁阀为 4.0 Watts，供电电压为 120VAC，50/60 Hz，可选电压包括 24、200、240VAC 50/60 Hz 或 12、24V DC。
e. 位置指示器
最大为 115 VAC 或 28 VDC，20 mA。
f. 安装位置
任意安装位置。
g. 循环次数
可达 100,000 次循环（取决于工艺）。
在售产品：
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 11000 系列
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 21200 系列
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 81000 系列
HVA 三位真空闸阀, 真空插板阀 21700 系列
HVA 真空闸阀, 真空插板阀 71000 系列
HVA 真空隔离闸阀 16000 系列
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