IONCheck 真空校准系统
上海伯东提供德国PH Instruments IONCheck SRG真空校准系统,基于SRG转子规技术,可对离子规等高真空计进行高精度(±1%读数)原位/离位校准与比对,量程5×10⁻⁷~1×10⁻² mbar,适用于半导体、真空工艺质量保证。
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项目 |
规格参数 |
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测量原理 |
Spinning Rotor Gauge (SRG) |
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可调压力范围 |
5×10⁻⁷ mbar 至 1×10⁻² mbar (最大 1 mbar) |
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SRG精度 |
0.1 mbar 至 1×10⁻⁶ mbar: 读数的 1% |
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SRG测量时间 |
3, 5, 10, 20, 30 秒 (可选) |
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系统评估周期 |
< 1 秒 |
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长期稳定性 |
< 1% 年漂移率 |
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并行被测设备数量 |
2 个 |
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被测设备真空接口 |
KF25 (其他接口可通过适配器) |
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高真空泵系统 |
Pfeiffer PM 015 887 AT / 隔膜前级泵 |
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旁路泵 |
隔膜前级泵 |
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数字接口 |
USB-C, 蓝牙 (可选), RS-485, LAN |
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PC操作 / GUI |
Windows 10, IONCheck 应用程序 |
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LCD触摸屏 / 迷你PC |
ASUS VT168H / Intel® Celeron® N3450, 8GB DDR4, 128GB M.2 SATA SSD |
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即插兼容 (线缆随附) |
MKS/GP 354, MKS/GP 355, MKS 971B |
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通用即插兼容 |
具有24 VDC供电和0-10 VDC模拟输出的CC/HC/皮拉尼规 (线缆需预订) |
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工作温度 |
10°C 至 40°C |
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功耗 |
230 VAC, 50 Hz, < 2 A (不间断电源) |
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校准气体 (可选) |
N₂ (其他气体可预订) |
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重量 |
90.8 kg |
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外形尺寸 |
610 × 610 × 1200 mm |
1. 基准级的精度与稳定性
- 采用SRG作为标准:以Spinning Rotor Gauge(转子真空规) 作为校准核心,它是国际公认的高精度、长期稳定的传递标准。
- 超高精度:在核心量程(0.1 mbar 至 1×10⁻⁶ mbar)内,精度高达 ±1% 读数。
- 极低漂移:年漂移率 < 1%,确保标准值长期可靠,大幅降低复校频率和成本。
2. 解决传统离子规的固有难题
- 提供“真相”参照:传统离子规因灯丝/等离子体发热、溅射、吸气、放气会干扰真空并自身漂移,导致测量不准且难以发觉。IONCheck的SRG标准不干扰真空,能暴露并量化这些误差。
- 识别隐性漂移:可精确检测离子规因污染、老化导致的读数漂移,避免因传感器失准造成的工艺质量下降。
3. 灵活高效的校准模式
- 原位校准:使用 DosiTorr SRG变送器 可直接在生产线设备上进行在线校准,不停机校验。
- 离位校准:使用 IONCheck集成系统 可在实验室对真空计进行高精度标定、性能比对和筛选。
- 并行比对:可同时连接 2个被测真空计,直观对比其与SRG标准的偏差,批量筛查效率高。
4. 用户友好与智能化
- 集成化系统:集成了无油高真空泵组、气体定量导入单元、触摸屏控制与软件,开箱即用。
- 直观软件:配备触摸屏与专用软件,实时显示四个通道(含2个被测设备)的压力值及与标准的百分比偏差,数据可存储为CSV格式。
- 即插即用兼容:预置接口兼容 MKS/GP 354/355/971B 等主流型号,并支持其他具有24VDC供电和0-10VDC输出的通用真空规。
5. 提升质量与可靠性
- 事前筛选:可在真空计投入使用前,通过与“黄金标准”比对,提前剔除不合格或性能衰退的设备,防患于未然。
- 工艺保障:确保生产或研发中使用的真空压力数据准确、可追溯,从根本上提升工艺重复性与产品良率。
6. 技术前瞻性与可靠性
- 基于先进SRG技术:采用非接触、全金属的SRG传感器,无磨损、寿命极长,维护成本极低。
- 系统坚固可靠:整套系统针对工业环境设计,提供稳定、连续的校准服务。
1. 真空规的定期检定与校准
2. 新旧真空计的性能比对与筛选
3. 工艺现场(原位)真空计的状态验证
4. 质量保证与过程可靠性提升
5. 适用于半导体制造、真空镀膜、科研实验等需要高精度真空测量的领域。
在高真空工艺(尤其是 10⁻⁴ ~ 10⁻⁶ mbar 范围)中,传统的离子规(热阴极/冷阴极) 因自身工作原理存在固有缺陷,导致测量不可靠:
1. 影响真空:灯丝或等离子体的高能量会溅射、吸气、放气,干扰待测环境。
2. 易产生漂移:电极污染、老化会改变电离效率,导致读数持续漂移,且难以察觉。
3. 精度难以保障:这些因素使得离子规无法提供长期稳定、可追溯的精确测量,直接影响工艺良率与重复性。
IONCheck的解决方案:以SRG为标准
SRG(转子规)是一种不干扰真空、无磨损、高精度的基准测量技术。IONCheck以其为核心,提供两种校准方式:
1. 原位校准:使用 DosiTorr SRG变送器 直接在工艺设备上进行在线校验。
2. 离位校准:使用 IONCheck集成系统 在实验室进行高精度标定与比对。
核心功能与价值
1. 高精度设定与测量:可在 5×10⁻⁷ ~ 1×10⁻² mbar 范围内,使用纯净气体精确生成标准压力点。
2 并行比对:可同时连接2个被测真空计,直观对比其与SRG标准的偏差,快速筛选合格设备。
3. 质量控制:在设备投入使用前,通过与“黄金标准”比对,确保其测量可靠性。
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