美国KRI 离子源中和器 MHC1000发布日期：2026-01-28

MHC1000电子源是美国Kaufman & Robinson公司推出的高性能中空阴极电子源，专为离子源系统提供稳定、高电流的电子发射支持。该电子源采用模块化设计，维护简便，使用寿命长，适用于离子束辅助沉积、离子束刻蚀、离子束清洗等高端真空工艺。标准配置包括中空阴极组件、真空电缆、电气馈通及备件包，支持即插即用式安装与维护。

 

核心特点：

  • 高性能发射：支持最高15A发射电流，推荐使用氩气流量10–15 sccm

  • 长寿命设计：采用不锈钢、氧化铝和钽材料，结构坚固，耐腐蚀

  • 易于维护：模块化组装，支持快速拆卸与更换，备件齐全

  • 洁净工艺：全系统洁净处理，提供真空电缆与绝缘件，防止污染

  • 配套完整：含电气馈通、气体管路组件及安装支架

 

应用领域：

  • 离子束辅助沉积（IBAD）

  • 离子束刻蚀与清洗

  • 离子束溅射镀膜

  • 半导体、光学镀膜、材料表面改性

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