KRI 中空阴极电子源（SHC & LHC系列）发布日期：2026-01-28

Kaufman & Robinson公司提供SHC1000和LHC1000两款中空阴极电子源，采用无灯丝设计，适用于离子源系统的电子发射与电荷中和。该系列产品具有长寿命、耐腐蚀、兼容反应性气体等特点，结构紧凑，支持侧装或垂直安装，适用于离子束辅助沉积、离子束刻蚀、真空镀膜等多种高端工艺。

核心型号对比：

  • LHC1000：最大发射电流20A，长度约4.6英寸，重量0.7磅，适用于高电流需求场景

  • SHC1000：最大发射电流5A，长度约2.85英寸，重量0.3磅，结构更紧凑，适用于空间受限系统

 

共同特点：

  • 长使用寿命：阴极插入件寿命200–700小时

  • 气体兼容性：支持惰性与反应性气体（如氩气、氮气等）

  • 安装灵活：支持水平、垂直或倾斜安装，适配多种离子源

  • 易于维护：阴极插入件可快速更换，降低停机时间

  • 洁净工艺：推荐使用不锈钢管路与高纯度气体，避免污染

 

应用领域：

  • 离子束辅助沉积（IBAD）

  • 离子束刻蚀与清洗

  • 真空镀膜与表面改性

  • 半导体、光学、航空航天等高端制造

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