普发 Pfeiffer ATH 4506 涡轮分子真空泵发布日期：2026-04-22

 

本产品档案为 Pfeiffer ATH 4506 M/MT 涡轮分子真空泵官方技术资料，内容包括：

      - 产品型号说明（ATH 4506 M / MT）

      - 技术参数表（抽速、压缩比、极限压力、功耗、冷却要求等）

      - 尺寸图（含进气口 VG350/VG400、排气口 DN40/DN50）

      - 抽速曲线图（空气温度 20°C，公差 ±10%）

      - 允许磁场强度说明（径向，距离 10cm 处）

      - 配件清单（吹扫阀门、冷却水阀、手持遥控器、加热选项、过滤器等）

      - 应用领域（半导体、PVD、PECVD、ALD、Load lock、蚀刻、离子注入等）

      - 自诊断功能与远程控制说明

适用于设备选型、系统集成及维护参考。上海伯东为德国普发 Pfeiffer 授权代理，提供原厂技术支持。

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