上海伯东 普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 用于 PECVD 检漏
某电子材料公司采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对生产设备荷兰 TEMPRESS PECVD 进行检漏，主要针对进出气管道, 焊接处, 法兰都位置进行检漏 ,一般漏率要求在 1.0×10-8 mbarl/s.
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
|
型号
|
ASM340
|
ASM340 D
|
ASM340 I
|
|
对氦气的最小检检漏率
|
5E-13 Pa m3/s
|
5E-13 Pa m3/s
|
5E-13 Pa m3/s
|
|
检测模式
|
真空模式和吸枪模式
|
真空模式和吸枪模式
|
真空模式和吸枪模式
|
|
检测气体
|
4He, 3He, H2
|
4He, 3He, H2
|
4He, 3He, H2
|
|
启动时间 min
|
3
|
3
|
3
|
|
对氦气的抽气速度 l/s
|
2.5
|
2.5
|
2.5
|
|
进气口最大压力 hPa
|
25
|
25
|
5
|
|
前级泵抽速 m3/h
|
油泵 15
|
隔膜泵 3.4
|
不含前级泵
|
|
重量 kg
|
56
|
45
|
32
|
PECVD 检漏原因:
PECVD 工作环境需要两个必要条件: 低温和真空, 由于 PECVD 结构复杂, 组成部分较多, 各组件通过各种法兰接口连接, 当长时间运行时可能造成接口或管路松动, 设备漏气, 导致真空度抽不下来, 影响沉积薄膜的质量, 这时就需要通过检漏来排查漏点. 常规的检漏如涂肥皂水等方法, 耗时耗力且精度低, 容易受操作人员干扰, 所以利用氦质谱检漏仪的排查方法越来越广泛使用.
上海伯东是德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 日本 NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本 Atonarp过程质谱仪 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗小姐 台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
M: 1520-195-1076 ( 微信同号 ) F: +886-3-567-0049
QQ: 2470772868 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
