伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 用于 PECVD 检漏
某电子材料公司采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对生产设备荷兰 TEMPRESS PECVD 进行检漏，主要针对进出气管道, 焊接处, 法兰都位置进行检漏 ,一般漏率要求在 1.0×10-8 mbarl/s.
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号
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ASM340
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ASM340 D
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ASM340 I
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对氦气的最小检检漏率
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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3
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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2.5
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2.5
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进气口最大压力 hPa
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25
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25
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5
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前级泵抽速 m3/h
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油泵 15
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隔膜泵 3.4
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不含前级泵
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重量 kg
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56
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45
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32
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PECVD 检漏原因:
PECVD 工作环境需要两个必要条件: 低温和真空, 由于 PECVD 结构复杂, 组成部分较多, 各组件通过各种法兰接口连接, 当长时间运行时可能造成接口或管路松动, 设备漏气, 导致真空度抽不下来, 影响沉积薄膜的质量, 这时就需要通过检漏来排查漏点. 常规的检漏如涂肥皂水等方法, 耗时耗力且精度低, 容易受操作人员干扰, 所以利用氦质谱检漏仪的排查方法越来越广泛使用.
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