某电子材料公司采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对生产设备荷兰 TEMPRESS PECVD 进行检漏,主要针对进出气管道, 焊接处, 法兰都位置进行检漏 ,一般漏率要求在 1.0×10-8 mbarl/s.
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
型号 |
ASM340 |
ASM340 D |
ASM340 I |
对氦气的最小检检漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
5E-13 Pa m3/s |
检测模式 |
真空模式和吸枪模式 |
真空模式和吸枪模式 |
真空模式和吸枪模式 |
检测气体 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
4He, 3He, H2 |
启动时间 min |
3 |
3 |
3 |
对氦气的抽气速度 l/s |
2.5 |
2.5 |
2.5 |
进气口最大压力 hPa |
25 |
25 |
5 |
前级泵抽速 m3/h |
油泵 15 |
隔膜泵 3.4 |
不含前级泵 |
重量 kg |
56 |
45 |
32 |
PECVD 检漏原因:
PECVD 工作环境需要两个必要条件: 低温和真空, 由于 PECVD 结构复杂, 组成部分较多, 各组件通过各种法兰接口连接, 当长时间运行时可能造成接口或管路松动, 设备漏气, 导致真空度抽不下来, 影响沉积薄膜的质量, 这时就需要通过检漏来排查漏点. 常规的检漏如涂肥皂水等方法, 耗时耗力且精度低, 容易受操作人员干扰, 所以利用氦质谱检漏仪的排查方法越来越广泛使用.
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