上海伯东 氦质谱检漏仪 MPCVD 检漏, 实现高品质金刚石膜制备
微波等离子体化学气相沉积法 Microwave Plasma CVD (MPCVD) 是目前国际上被用于高品质金刚石膜制备的首选方法. MPCVD 装置将微波发生器产生的微波经波导传输系统进入反应器, 并通入甲烷与氢气的混合气体, 在微波的激发下, 在反应室内产生辉光放电, 使反应气体的分子离化, 产生等离子体, 在基板台上沉积得到金刚石膜. 上海伯东某客户投资数亿元采购 MPCVD 长晶设备用于人造金刚石的生产, 预计年产量超万片.
MPCVD 需要检漏: 在使用 MPCVD 设备进行金刚石合成的过程中, 如果设备有泄漏的情况, 将会使合成的金刚石中掺有杂质, 影响金刚石的品质, 一般漏率要求 1E-9 mbar l/s. 需要快速的对设备进行定量定位的泄露检测, 传统检漏方式无法满足.
上海伯东 MPCVD 设备检漏客户案例: 为了解决这一问题, 上海伯东推荐客户采购氦质谱检漏仪 ASM 340, 利用真空法对 MPCVD 进行检漏, 漏率设置 1E-9 mbar l/s.
1. 将设备通过波纹软管连接检漏仪 ASM 340, 确认连接完毕
2. 启动 ASM 340, 进入待机界面; 初次启动时间大约 3min, 以后启动 < 1min
3. 按下开始键, 先通过 bypass 阀门启动干式真空泵 ACP 28 抽真空, 到达一定压力检漏仪 ASM 340 开始工作, 同时在设备怀疑有漏的地方喷氦气 (腔体, 焊缝, 连接处); 若有漏, 检漏仪马上报警, 显示该喷射点有漏.
4. 检测完毕, 按下检漏仪待机键, 放气, 关闭电源, 移除连接管路.
氦质谱检漏仪 ASM 340 与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点.
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型号
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ASM 340 W
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对氦气的最小检测漏率
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5E-13 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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进气口最大压力 hPa
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25
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前级泵抽速 m3/h
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油泵 15
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重量 kg
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56
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