上海伯东 Ambrell感应加热系统在MOCVD石墨基座加热中的应用
随着半导体和新能源行业的快速发展，MOCVD（金属有机化学气相沉积）技术作为制备化合物半导体材料的关键工艺，对加热系统的精确性和可靠性提出了更高要求。作为Ambrell品牌全国总代理，上海伯东推出的Ambrell EASYHEAT系列感应加热系统，凭借其精准的温控能力和高效的加热性能，为MOCVD工艺中的石墨基座加热提供了理想的解决方案。
技术挑战与解决方案
1. MOCVD工艺的核心需求
-精确的温度控制（±5℃）
-快速升温能力
-稳定的热场分布
-惰性气体环境适应性
2. Ambrell感应加热优势
-非接触式加热，避免污染
-精准的电磁场控制
-高效的能源利用率
-可编程的温度曲线
3. 系统配置与技术参数
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项目
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参数/配置
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系统型号
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EASYHEAT 5060LI
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最大功率
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6kW
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工作频率
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171kHz
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温度范围
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室温-1400℃
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加热线圈
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4匝螺旋线圈（Φ5"×1.5"）
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电容配置
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2×1.0μF电容器
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温度测量
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双色红外光学高温计
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控制系统
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全数字PID控制
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实际应用表现
1 加热性能
-石墨基座（Φ3"×1.25"）5分钟内升温至1100℃
-温度均匀性：±10℃（在1100℃时）
-热场分布均匀，无局部过热
2 工艺优势
-相比传统电阻加热，能耗降低35%
-升温速度提高50%
-维护周期延长3倍
典型应用案例
某知名半导体企业采用EASYHEAT 5060LI系统：
-应用场景：GaN外延生长
-工艺要求：1050℃恒温，±5℃波动
-运行结果：连续100次工艺重复性测试，温度稳定性达标率100%
-经济效益：年节省能耗成本约15万元
产品系列对比
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型号
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EASYHEAT 5060LI
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EASYHEAT 3542
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EASYHEAT 8310
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功率范围
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6kW
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4.2kW
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10kW
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频率范围
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150-400kHz
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150-400kHz
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50-150kHz
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适用工件
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中小尺寸
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小型
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大型
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典型应用
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MOCVD基座
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实验室研发
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工业批量生产
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服务支持体系
上海伯东提供：
1. 专业工艺咨询与方案设计
2. 设备安装与调试服务
3. 原厂备件供应
Ambrell EASYHEAT系列感应加热系统以其卓越的温控精度和可靠的加热性能，成为MOCVD工艺中石墨基座加热的首选方案。无论是研发实验室还是量产工厂，都能提供专业的加热解决方案，助力半导体材料制备工艺的优化与提升。
上海伯东是美国 inTEST 高低温冲击测试机, 德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 日本 NS 离子蚀刻机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本 Atonarp过程质谱仪 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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