在半导体制造、液化气体储运、真空镀膜等高要求领域，真空测量的准确性与长期稳定性直接决定工艺质量与运营成本。然而，传统真空计在面对水汽污染、工艺污染、高温灭菌、防爆要求等严苛条件时，往往暴露出漂移大、寿命短、安全隐患多等固有缺陷。
上海伯东 PH Instruments公司基于Spinning Rotor Gauge（SRG）旋转转子规技术，推出 VIM-2便携式真空计 与 DosiTorr SRG真空计 两大系列产品，以物理基准级的测量原理和创新的全金属无馈通设计，为静态真空监测与工艺集成应用提供了系统性解决方案。
| 对比项 | 旋转转子规 SRG | 皮拉尼 Pirani | 电离规 Ion Gauge |
|---|---|---|---|
| 水汽/溶剂耐受性 | 优秀，无热干扰 | 差，水汽漂移极大 | 差，灯丝易腐蚀断裂 |
| 洁净度 | 全金属、无析出 | 加热丝微量脱气 | 电离溅射金属污染 |
| 灭菌能力 | 可121℃蒸汽SIP | 不可高温灭菌 | 灯丝不耐高温 |
| 长期稳定性 | 年漂移<1.5% | 漂移大，频繁校零 | 灯丝衰减快速失准 |
| 防爆/电池便携 | 可电池供电、无点火源 | 加热丝有高温热源 | 高压+热灯丝高风险 |
核心结论：SRG技术在耐受性、洁净度、稳定性及安全性四个维度上，均显著优于传统皮拉尼规和电离规。
适用场景：液氢、LNG、液氮、液氦等液化气体储罐及运输管线的真空夹层长期监测。
.png)
1. 全金属无馈通设计
传感器采用全金属焊接结构，内部无任何电子元件、灯丝或电气穿通件，从根源上杜绝泄漏风险，可永久安装于储罐使用数十年。
2. 超宽测量范围
测量范围10 mbar至5×10⁻⁷ mbar，覆盖从粗真空到超高真空的全量程。
3. 高精度与超低漂移
在0.1至1×10⁻⁶ mbar核心区间，精度达读数的±1%；在10至0.1 mbar区间，精度为读数的±10%。年漂移率低于1%，长期数据可靠。
4. 便携操作
内置可充电电池，支持现场便携使用。一台主机可匹配成百上千个预装传感器，大幅降低多罐体监测成本。
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 测量范围 | 10 mbar ~ 5×10⁻⁷ mbar |
| 精度（0.1~1×10⁻⁶ mbar） | 读数的 ±1% |
| 精度（10~0.1 mbar） | 读数的 ±10% |
| 长期稳定性 | 年漂移 < 1% |
| 测量时间选项 | 3, 5, 10, 20, 30秒 |
| 内置数据记录器 | 1023组数据 |
| 通信接口 | USB-C, RS-485, RS-232, 蓝牙（可选） |
| 通信协议 | Modbus协议，ASCII协议（可选），LabView驱动（可选） |
| 模拟输出 | 0~10 VDC 可配置 |
| 供电电压 | 18 ~ 28 VDC，最大1.5 A |
| 主机工作温度 | +5°C ~ +35°C |
| 读数头工作温度 | +5°C ~ +45°C |
| 主机重量 | 约1.7 kg |
| 主机尺寸（含把手） | 260 × 85 × 270 mm |
| 传感器球直径 | 4.5 mm |
| 传感器球材质 | 1.4034 铬钢 |
PVD、CVD、刻蚀、离子注入等半导体工艺设备的真空监测，尤其适用于含氢气工艺及高污染环境。
(4).png)
1. 与气体种类无关的绝对压力测量
SRG技术基于动量传递原理，对所有气体响应一致，无需气体修正系数，实现100%线性压力读数。
2. 抗污染与耐腐蚀设计
传感器为全不锈钢材质，对沉积和腐蚀不敏感。核心传感器球可在污染后现场更换，大幅降低维护成本。
3. 超高精度与稳定性
在0.1至1×10⁻⁶ mbar范围内精度达读数的±1%，年漂移率低于1.5%，为工艺窗口控制提供可靠数据支撑。
4. 灵活的配置选项
提供多种配置版本：标准一体式DosiTorr、可拆分烘烤的CaliTorr、适合受限空间的DosiTorr extend，以及专为1:1替换离子规设计的DosiTorr config（即插即用）。
| 项目 | 规格参数 |
|---|---|
| 测量范围 | 10 mbar ~ 5×10⁻⁷ mbar |
| 精度（0.1~1×10⁻⁶ mbar） | 读数的 ±1% |
| 长期稳定性 | 年漂移 < 1.5% |
| 线性度 | 100%线性 |
| 供电电压 | 24 VDC |
| 模拟输出 | 0~10 VDC 可配置 |
| 真空内材料 | 全不锈钢，耐腐蚀 |
| 传感器设计 | 无电子元件，无馈通 |
| 配置版本 | DosiTorr / CaliTorr / DosiTorr extend / DosiTorr config |
.png)
| 应用需求 | 推荐型号 | 核心优势 |
|---|---|---|
| 液氢/LNG/液氮储罐真空夹层监测 | VIM-2 便携式真空计 | 全金属无馈通、便携操作、超低年漂移（<1%） |
| 真空绝热管道分段检测 | VIM-2 便携式真空计 | 一台主机测多点、现场快速测量 |
| 半导体PVD/CVD工艺真空监控 | DosiTorr SRG真空计 | 抗污染耐腐蚀、可换球、与气体种类无关 |
| 离子注入设备真空测量 | DosiTorr extend / config | 适合受限空间、1:1替换离子规 |
| 需烘烤的真空系统 | CaliTorr | 传感器可拆卸，耐烘烤温度高 |
PHI SRG转子真空计以其物理基准级的测量原理，在以下维度上实现了对传统技术的超越：
1. 耐受性：无热干扰，水汽、溶剂、镀膜污染影响极小
2. 洁净度：全金属结构，无析出、无溅射污染
3. 灭菌能力：可耐受121℃蒸汽SIP灭菌
4. 长期稳定性：年漂移<1.5%（VIM-2低至<1%），数十年数据可靠
5. 安全性：可电池供电，无点火源，适用于氢气环境
VIM-2便携式真空计专注静态真空监测，为液化气体储运提供终身可靠的真空健康保障；DosiTorr SRG真空计专注工艺集成，为半导体制造提供精准、抗污、安全的真空测量方案。
上海伯东 作为德国 PH Instruments 中国区授权合作伙伴，为您提供全系列SRG真空计产品的销售、技术支持与本地化服务。
如需获取产品选型建议、技术方案或现场演示，欢迎与我们联系。
