随着 MKS SRG‑3 旋转转子真空计退出中国市场，很多实验室、计量机构、半导体与高端真空工艺用户面临原有 SRG 传递标准真空计备件断供、设备更新选型难题。上海伯东作为奥地利 PH Instruments GmbH 官方中国总代理，推出 PHI 全系列 SRG 磁悬浮转子（旋转转子）真空计，可完整兼容替代 MKS SRG‑3，延续高精度高稳定性的真空压力传递标准测量能力。
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旋转转子真空计（SRG‑Spinning Rotor Gauge）属于物理直接测量的高真空传递标准。其工作原理：真空腔体内一颗磁悬浮不锈钢精密钢球高速旋转，气体分子撞击球体产生阻尼减速；通过检测球体的减速速率，计算得到真空压力。测量全程无加热、无电离效应，不向真空腔体引入热、离子、放气干扰，浸润材质全部为不锈钢，满足超高洁净真空需求。
1. 不锈钢磁悬浮转子球体（传感器），永久安装在真空法兰上；
2. 可拆装测量头，依靠电磁场实现球体悬浮、驱动、转速采集；
3. 电子控制单元，信号运算、显示、对外通讯输出。
测量头可脱离球‑法兰组件，一台主机可切换多个已预安装的传感器法兰，适合多点位轮换检测，无需每个点位配置整套电子单元，与原 MKS SRG‑3 使用逻辑完全一致。
PHI SRG 产品家族，覆盖实验室校准、在线工艺、便携现场检测
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PH Instruments 针对不同工况推出完整 SRG 产品线，覆盖原 SRG‑3 的计量校准场景，并拓展更多工艺应用形态：
1. DosiTorr：一体化紧凑型 SRG，传感器、测量头、电子单元集成，适合工艺产线连续自动化测量；
2. CaliTorr：测量头与电子单元可从传感器法兰分离，传感器支持高温烘烤，对标 SRG‑3 的计量校准应用；
3. DosiTorr extend：测量头与电控分体式，适配设备内部狭小安装空间；
4. DosiTorr config：电气接口可直接对换离子规，实现 “即插即用” 替换；
5. VIM‑2 便携式 SRG：锂电移动型 SRG，带蓝牙 APP，无需现场供电，适合低温绝热储罐、现场 QC 校验、故障排查，电池续航大于 2 小时，是传统台式 SRG 的补充方案。
PHI SRG vs MKS SRG‑3 核心参数对标
量程与精度
| 参数项 | MKS SRG‑3 | PHI SRG |
|---|---|---|
| 保证精度区间 | 5×10⁻⁷ ~ 1×10⁻² mbar | 0.1 ~ 1×10⁻⁶ mbar（可达读数 1% 精度） |
| 总测量量程 | 最高 1 mbar（5×10⁻⁵ ~ 100 Pa） | 10 mbar ~ 5×10⁻⁷ mbar |
| 高精度段精度 | ≤1 Pa：读数 1% + 残余拖拽 U | 0.1 ~ 1×10⁻⁶ mbar：可达读数 1% |
| 高压段表现 | 1 ~ 100 Pa：典型最高 10% 读数 | 10 mbar ~ 0.1 mbar：典型最大 10% 读数漂移 |
| 长期稳定性 | 年稳定性优于 1%/ 年 | 年漂移＜1.5%，典型优于 1% 每年 |
硬件与机械优势（PHI 相对 SRG‑3 升级点）
1. 磁场强度 90 mT（竞品 SRG 为 45 mT），转子旋转频率 615 Hz（竞品 440 Hz），抗倾斜、抗振动能力更强，传感器安装允许水平 ±5° 偏差，容错性更好；
2. 全金属紧固结构，无金属‑胶水粘接组件；
3. 法兰选择丰富：CF40、KF25、8VCR、焊接底座；测量头通用，一个测量头可适配全部规格法兰，不绑定单一传感器；原 MKS SRG‑3 仅支持 2¾‑CF 法兰，竞品 SRG 测量头仅限单一套传感器使用；
4. 内置温度传感器，自动补偿气体粘度带来的测量误差；
5. 供电支持 24 VDC 低压供电，VIM‑2 支持锂电池；原 SRG‑3 使用 85‑256 VAC 交流供电。
接口、软件与数据能力
1. 模拟输出：0‑10 VDC 可配置；
2. 数字接口：USB‑C、RS485、RS232；支持 Modbus、ASCII 协议，可提供 LabView 驱动；VIM‑2 额外具备蓝牙、手机 / 电脑 GUI 图形软件；
3. 内置大容量数据存储，可保存千条以上测量记录，便于质量追溯；原 SRG‑3 仅本地 LCD 显示，无图形操作界面，无内置大量数据记录功能。
烘烤能力
金属密封法兰组件最高烘烤温度 450 ℃；弹性密封版本最高 150 ℃，和 SRG‑3 指标保持一致，满足超高真空腔体高温除气需求。
SRG 对比离子规核心优势
|
项目 |
普通离子规 |
|
|---|---|---|
|
精度 |
可达读数 1% |
约读数 20% |
|
热 / 电离影响 |
无加热，无电离，不干扰腔体 |
灯丝发热，产生电离、溅射、放气效应 |
|
长期漂移 |
年漂移＜1.5% |
漂移显著，需要频繁校准 |
|
吸气效应 |
无吸气泵效应 |
存在有限吸气效应 |
|
出气污染 |
可忽略 |
明显出气、沉积污染 |
|
寿命 |
多年超长寿命 |
仅数月 |
|
振动敏感度 |
对振动敏感 |
抗振动 |
[注: SRG 不适合低于 5×10⁻⁷ mbar 的极超高真空；离子规在 10⁻¹⁰量级更有优势，二者场景互补。]
典型应用场景
1. 计量校准实验室：作为真空传递标准，校准离子规、皮拉尼等各类真空计，替代原 MKS SRG‑3；
2. 半导体、镀膜、科研真空腔体：腔体间一致性比对、工艺参考压力标定；
3. LNG 低温绝热储罐、真空绝热压力容器：VIM‑2 便携 SRG 不开罐完成真空检测；
4. 设备预防性维护、故障诊断：区分 “真空计漂移” 还是 “腔体真实泄漏”；
5. 高纯、无污染工艺：全不锈钢浸润面，无热、电离干扰，适合对腔体污染敏感工艺。
上海伯东服务支持
上海伯东是 PH Instruments GmbH 在中国官方唯一总代理，提供完整技术支持：
✅ SRG 选型评估，针对原有 MKS‑SRG‑3 项目做替换可行性评估；
✅ 法兰、测量头、电子单元全套供货；
✅ 原厂 DKD 可溯源校准证书配套；
✅ 安装指导、调试、培训、售后维修；
✅ 可对接用户现有上位机系统，完成通讯对接方案。
若您现有 MKS SRG‑3 设备面临备件停产、需要整机更新，欢迎联系上海伯东获取详细技术资料与报价。
上海伯东 作为德国 PH Instruments 中国区授权合作伙伴，为您提供全系列SRG真空计产品的销售、技术支持与本地化服务。
如需获取产品选型建议、技术方案或现场演示，欢迎与我们联系。
上海伯东是日本 NS 离子蚀刻机, 美国 KRI 考夫曼离子源, 德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计, 德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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