Pfeiffer 普发 真空泵应用案例发布日期:2020-06-02

为什么分子泵需要前级泵


有客户经常问, 为什么分子泵需要配置前级泵, 而不是直接在大气压下工作.


我们都知道涡轮分子泵必须在分子流状态 ( 气体分子的平均自由程远大于导管截面最大尺寸的流态 ) 下工作才能显示出它的优越性, 可很少有人知道为什么需要在分子流状态.

其实, 包括转子和定子叶片排列的泵送作用是基于将脉冲从快速旋转的叶片传输给被泵送的气体分子. 与叶片碰撞的分子被吸附在叶片上, 然后在一段时间后再次离开叶片. 在该过程中, 叶片速度被加到热分子速度上. 为确保由叶片传输的速度成分不因与其他分子碰撞而损失, 分子流必须在泵中占主导地位, 即:平均自由程必须大于叶片间距.

 

分子泵

(涡轮分子泵的工作原理)

 

在纯粹涡轮分子泵的情况下, 由于其分子流, 需要的前级真空压力大约为 10-2 mbar, 所以需要工作压力为 1~10-2 mbar的前级泵. 而前级泵抽气速率或者真空度满足不了使用要求, 所以需要分子泵.而且不预抽的话, 直接启动分子泵, 由于形成的压力太高容易把分子泵叶片损坏. 这就是为什么分子泵需要前级泵的主要原因. 上海伯东代理德国 Pfeiffer 分子泵在没有预抽真空的条件下是可以在大气压启动, 只是不能达到全速运转, Pfeiffer 复合式分子泵在前级真空 3mbar 以下就可以正常工作了.

为保证稳定的高或超高的真空环境, 国内的分子泵市场主要是以进口泵为主, 上海伯东 是 Pfeiffer Vacuum 德国普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品已余20年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有 100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.

Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最高 90,000 rpm, 极限真空最大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用.

 

分子泵
涡轮分子泵
HiPace 10-800

分子泵
涡轮分子泵
HiPace 1200-2300

分子泵
磁悬浮分子泵
HiPace 300-800M, ATH 500 M

分子泵
磁悬浮分子泵
ATH 1600-3200M, ATP 2300M

 

 

 

上海伯东是美国 Ambrell 感应加热设备, 德国 普发 Pfeiffer  真空设备, 美国  KRI 考夫曼离子源, 日本  NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国  HVA 真空阀门, 美国  Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本  Atonarp过程质谱仪  等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

 

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