Pfeiffer 普发 检漏仪无损泄露检测发布日期:2021-01-14

上海伯东 普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM390 用于MOCVD 设备检漏


某电子材料公司采用伯东移动式氦质谱检漏仪 ASM390 对生产系统 MOCVD 进行检漏,主要针对气体的输运系统, 管路和管道的接头等存在泄漏可能的部位需要重点排查, 保证反应系统无泄漏.

 

 伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱检漏仪 ASM390 技术参数:

 型号

ASM390

 检测气体

4He, 3He, H2

 最小检测漏率

真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s

 对氦气的抽速

10 l/s

 前级泵抽速

35 m3/h

 进气口最大压力

20 mbar

 无校准的启动时间(20°C)

2 min

 进气口

DN 40 ISO-KF

 响应时间

< 1 s

 Interface,  选配

RS-232, I/O, Ethernet

 噪音

≤ 55 dB (A)

 重量

125 kg

 尺寸(LxWxH)

1072 x 455 x 1025 mm

MOCVD设备检漏

MOCVD 设备需要检漏:

因为MOCVD生长使用的源是易燃, 易爆, 毒性很大的物质, 并且要生长多组分, 大面积, 薄层和超薄层异质材料. 因此在MOCVD系统的设计思想上, 必须考虑系统密封性. 对于气体的输运系统, 管路和管道的接头等存在泄漏可能的部位需要重点排查, 保证反应系统无泄漏是MOCVD设备组装的关键之一.

 

上海伯东是德国 普发 Pfeiffer  真空设备, 美国  KRI 考夫曼离子源, 日本  NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国  HVA 真空阀门, 美国  Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本  Atonarp过程质谱仪  和  美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

 

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上海伯东: 罗小姐                                    台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-1322                            T: +886-3-567-9508 ext 161
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