上海伯东作为美国HVA阀门全国总代理,隆重推出11000系列高真空手动插板阀。该系列阀门专为高真空(HV)与超高真空(UHV)应用设计,凭借其正向锁定过中心机构、全不锈钢真空钎焊阀体、线性驱动与焊接波纹管密封等先进特性,在半导体、科研、分析仪器及镀膜等行业中广受信赖,确保系统长期稳定运行。
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核心优势
1. 坚固耐用:阀体及主要内部构件采用304不锈钢,并在1100°C、1x10⁻⁶ Torr的高真空环境下进行钎焊,最大限度保证连接完整性,消除虚漏与残留气隙,减少阀体变形。
2. 高效密封:线性驱动配合焊接波纹管,彻底消除旋转密封件;提供弹性体密封与金属密封两种阀帽形式,满足不同真空度与烘烤温度要求。
3. 操作便捷:采用ACME螺纹杆,启闭阀门所需的转动圈数更少,操作更快;维护时,无需将阀门从系统拆下,即可取出阀帽执行器 carriage 总成进行维护。
4. 设计紧凑:不锈钢阀体具有业内领先的小内表面积,有利于快速抽真空并减少气体吸附。
技术规格
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项目 |
参数 |
|---|---|
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阀体与机构材料 |
304 不锈钢 |
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焊接波纹管材料 |
AM-350 |
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阀帽/闸板密封 |
HV: Viton® 弹性体 |
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真空度范围 |
HV: 1 × 10⁻⁹ Torr |
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漏率 |
≤ 2 × 10⁻¹⁰ Atm·cc/sec |
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耐受压差 |
760 Torr (双向) |
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最大开启压差 |
20 Torr |
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烘烤温度 (无电磁阀) |
弹性体密封阀帽: 150°C |
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维护周期 |
应用相关,可达 100,000 次循环 |
应用领域
1. 半导体制造设备
2. 科研与实验真空系统
3. 表面科学与分析仪器
4. 真空镀膜设备
5. 航空航天
6. 高能物理
服务与支持
上海伯东为客户提供全面的技术咨询、产品选型、安装指导及售后维护服务。如需订购备件或维修套件,请备好阀门的型号与序列号,我们将竭诚为您提供支持。
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