HVA 真空阀门应用案例发布日期:2025-10-29

美国HVA 11000系列高真空插板阀——卓越性能,可靠密封,适用于高真空与超高真空环境


上海伯东作为美国HVA阀门全国总代理,隆重推出11000系列高真空手动插板阀。该系列阀门专为高真空(HV)与超高真空(UHV)应用设计,凭借其正向锁定过中心机构、全不锈钢真空钎焊阀体、线性驱动与焊接波纹管密封等先进特性,在半导体、科研、分析仪器及镀膜等行业中广受信赖,确保系统长期稳定运行。


 

核心优势

1. 坚固耐用:阀体及主要内部构件采用304不锈钢,并在1100°C、1x10⁻⁶ Torr的高真空环境下进行钎焊,最大限度保证连接完整性,消除虚漏与残留气隙,减少阀体变形。

2. 高效密封:线性驱动配合焊接波纹管,彻底消除旋转密封件;提供弹性体密封与金属密封两种阀帽形式,满足不同真空度与烘烤温度要求。

3. 操作便捷:采用ACME螺纹杆,启闭阀门所需的转动圈数更少,操作更快;维护时,无需将阀门从系统拆下,即可取出阀帽执行器 carriage 总成进行维护。

4. 设计紧凑:不锈钢阀体具有业内领先的小内表面积,有利于快速抽真空并减少气体吸附。


 

技术规格

项目

参数

阀体与机构材料

304 不锈钢

焊接波纹管材料

AM-350

阀帽/闸板密封

HV: Viton® 弹性体
UHV: OFHC 铜 / Viton® 弹性体

真空度范围

HV: 1 × 10⁻⁹ Torr
UHV: 1 × 10⁻¹⁰ Torr

漏率

≤ 2 × 10⁻¹⁰ Atm·cc/sec

耐受压差

760 Torr (双向)

最大开启压差

20 Torr

烘烤温度 (无电磁阀)

弹性体密封阀帽: 150°C
金属密封阀帽 (阀开): 200°C
金属密封阀帽 (阀关): 150°C
手动执行器: 60°C

维护周期

应用相关,可达 100,000 次循环


 

应用领域

1. 半导体制造设备

2. 科研与实验真空系统

3. 表面科学与分析仪器

4. 真空镀膜设备

5. 航空航天

6. 高能物理


 

服务与支持

上海伯东为客户提供全面的技术咨询、产品选型、安装指导及售后维护服务。如需订购备件或维修套件,请备好阀门的型号序列号,我们将竭诚为您提供支持。

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