一、产品概述
普发真空校准系统专业版(Calibration System Pro)是一款用于真空计校准的高精度专业设备,适用于静态与动态校准,覆盖真空范围1013 – 10⁻³ hPa,最多支持5个参考变送器,适用于制药、光学涂层、真空泵制造等高精度真空测量场景。

二、校准原理
该校准系统遵循ISO 3567标准,采用直接比对法进行校准:
1. 静态校准:适用于压力>0.1 hPa的范围。通过关闭蝶阀,在真空室内建立静态压力,使待校变送器与参考变送器处于相同压力环境,直接比对测量值。
2. 动态校准:适用于压力<0.1 hPa的范围。通过控制气体流量,在动态平衡状态下比对测量值,适用于高真空范围。
校准过程中,系统使用已校准的参考变送器(如CMR系列电容薄膜计)作为基准,逐级比对待校设备的测量值,确保测量链可追溯至国家计量标准。
三、系统结构与组成
系统主要由以下组件构成:
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1. 真空腔体(带多接口法兰)
2. 涡轮分子泵 HiPace 80
3. 旋片前级泵 DUO 3
4. 控制单元 DCU 110
5. 显示单元 TPG 361
6. 皮拉尼/冷阴极变送器 PKR 360
7. 气体进气阀 EVN 116
8. 手动阀与蝶阀
所有组件集成于移动式机架上,操作灵活,适用于实验室与车间环境。
四、应用领域
1. 制药与食品行业:用于冷冻干燥工艺中的真空监测与校准,确保工艺稳定性。
2. 光学与涂层行业:用于PVD、CVD等涂层系统中的真空测量设备校准。
3. 真空泵制造与维修:用于最终真空测量与性能验证。
4. 科研与质量控制:用于高精度真空计的定期校准与性能验证。
五、操作流程概要
1. 准备阶段:连接参考变送器与待校设备,确保系统处于起始状态。
2. 启动系统:依次开启前级泵、涡轮泵,待压力稳定后进入校准模式。
3. 零点校正:在低压力环境下进行零点调整与偏移校正。
4. 执行校准:
a. 静态校准:关闭蝶阀,调节气体流量至目标压力。
b. 动态校准:通过蝶阀调节泵速,控制气体流量。
5. 数据记录与分析:记录比对数据,生成校准报告。
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六、技术优势
1. 高精度:支持多参考变送器,精度可达0.2%(1,013 – 0.1 hPa)。
2. 宽范围:覆盖大气压至高真空(10⁻³ hPa)。
3. 符合标准:遵循ISO 3567、DAkkS-DKD-R 6-2等国际标准。
4. 灵活配置:提供多种法兰接口,支持定制化解决方案。
5. 操作简便:集成控制单元,支持手动与自动操作模式。
七、典型校准报告示例
系统支持生成标准校准报告,包含环境温度、参考变送器信息、测量数据与偏差分析,便于质量追溯与认证(示例见第27–28页)。
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八、结论
普发真空校准系统专业版是一款适用于高精度真空计校准的专业设备,具备高精度、宽范围、操作灵活等优势,可广泛应用于工业制造、科研实验与质量控制领域,是保障真空测量可靠性的关键工具。
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