上海伯东 HVA 81000/11000系列闸板阀在CVD/PVD/刻蚀工艺中的应用
半导体制造设备中的高可靠真空隔离解决方案
应用场景
在半导体薄膜沉积（CVD/PVD）、刻蚀（Etch）及离子注入（Ion Implantation）等关键工艺腔室与传输模块之间，需要快速、可靠、零泄漏的真空隔离阀门，以确保工艺纯度、避免交叉污染，并维持系统真空度。
推荐型号
1. 81000 系列气动闸板阀（铝制阀体，适用中高真空）
2. 11000 系列手动/气动闸板阀（不锈钢阀体，适用高真空至超高真空）
.png)
技术优势
1. 极低的漏率与放气率
a. 阀体采用全焊接或真空钎焊工艺（1100°C，1×10⁻⁶ Torr），杜绝虚漏与夹气区域。
b. 漏率标准：≤ 2×10⁻¹⁰ Atm·cc/sec（He）。
2. 快速响应与长寿命
a. 气动阀门启闭时间可调，标配位置指示（Reed Switch）。
b. 机械结构设计寿命可达100,000次循环（视应用条件）。
3. 洁净与耐烘烤
a. 阀体内部表面积小，减少污染物附着。
b. 烘烤温度：
- 弹性体密封（Viton®）：150°C
- 金属密封（OFHC铜）：200°C（阀门开启）/150°C（阀门关闭）
关键安装维护建议
1. 安装方向：建议阀门背压侧（gate/sealing side）朝向真空侧，使阀体始终处于真空状态，减少抽气时间。
2. 扭矩控制：必须使用短于两法兰总厚度1/4英寸（6.4mm）的螺栓，并按对角线顺序逐步紧固至规定扭矩。
3. O型圈安装：必须使用塑料挑针，避免划伤沟槽；安装时从180°两点开始按压，避免扭曲变形。
.png)
适用技术参数表
|
参数
|
81000 系列（铝制）
|
11000 系列（不锈钢）
|
|
阀体材料
|
铝合金
|
304 不锈钢
|
|
密封类型
|
Viton® O型圈
|
Viton® O型圈 或 OFHC铜金属密封
|
|
适用真空范围
|
高真空（HV）
|
高真空（HV）至超高真空（UHV）
|
|
漏率
|
≤ 2×10⁻¹⁰ Atm·cc/sec
|
≤ 2×10⁻¹⁰ Atm·cc/sec
|
|
最大压差
|
760 Torr（双向）
|
760 Torr（双向）
|
|
烘烤温度（密封侧）
|
150°C（Viton®）
|
150°C（Viton®）/200°C（金属密封）
|
|
阀门尺寸范围
|
1.5″ – 20″（DN40–DN500）
|
5/8″ – 50″（DN16–DN1270）
|
|
安装方向
|
1.5″–6″任意；8″以上需咨询工厂
|
5/8″–6″任意；8″以上需咨询工厂
|
上海伯东是德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 日本 NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本 Atonarp过程质谱仪 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
.png)
上海伯东: 罗小姐 台湾伯东: 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
M: 1520-195-1076 ( 微信同号 ) F: +886-3-567-0049
QQ: 2470772868 M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
上海伯东版权所有, 翻拷必究！
