上海伯东 HVA 11000系列MSB阀门在同步辐射、MBE、表面科学中的应用
科研级超高真空系统中的金属密封阀门应用
应用场景
同步辐射、表面科学、分子束外延（MBE）等超高真空（UHV）系统中，要求阀门具有极低的放气率、耐高温烘烤，并能长期保持真空度优于10⁻¹⁰ Torr。
推荐型号
11000 系列金属密封闸板阀
技术优势
1. 全金属密封结构
- 密封材料为OFHC无氧高导铜，无有机放气源。
- 烘烤温度可达200°C（阀门开启），适用于全系统烘烤。
2. 零泄漏设计
- 阀体与内部组件采用真空炉钎焊，无虚漏风险。
- 漏率保证在2×10⁻¹⁰ Atm·cc/sec以内。
3. 维护便捷
- 阀座与闸板密封组件可整体拆装，无需从系统上拆下阀门。
安装与调试要点
1. 法兰连接：建议使用CF-F（Conflat®）法兰，配合铜垫片。
2. 阀体支撑：大尺寸阀门（≥8″）需额外支撑，避免阀体受力变形。
3. 清洁操作：必须佩戴无粉乳胶手套，使用IPA和无绒布清洁密封面。
适用技术参数表
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参数
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11000 系列金属密封阀（MSB）
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阀体材料
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304 不锈钢
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密封材料
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OFHC铜垫片
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适用真空范围
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UHV（≤1×10⁻¹⁰ Torr）
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漏率
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≤ 2×10⁻¹⁰ Atm·cc/sec
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最大压差
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760 Torr（双向）
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烘烤温度
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200°C（阀开）/150°C（阀闭）
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扭矩表（CF-F法兰）
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5/8″: 6-8 ft-lbs；1.5″-1.33″: 12-13 ft-lbs；2″-21″: 12-15 ft-lbs
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阀门尺寸范围
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5/8″ – 50″（DN16–DN1270）
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