背景
在半导体制造、真空镀膜、高低温工艺及低温液体储运等领域，真空测量的精度和可靠性直接影响工艺质量和运行效率。PH-Instruments基于旋转转子真空计技术开发的SRG传感器及VIM-2移动式SRG系统，可在多种设备类型和工艺位置中实现高精度、无漂移的真空测量。
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适用范围：SRG可用位置
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应用位置 |
说明 |
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IG1-3 |
离子注入设备各真空测量位置 |
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Degas |
脱气腔室 |
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Cryo/Vacuum Tanks |
低温/真空储罐 |
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Transport Lines |
输送管线 |
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Panels |
控制面板 |
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LH2 Filling Stations |
液氢加注站 |
适用设备类型
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设备类别 |
具体设备 |
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离子注入设备 |
Implant tools |
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集群设备 |
Cluster tools (PVD/CVD) |
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高温工艺 |
High-temperature furnaces |
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物理气相沉积 |
Sputter, Industrial PVD |
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离子束工艺 |
Ion beam |
精度对比：SRG vs 电离规
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对比项 |
SRG优势 |
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精度对比 |
比全新电离规至少精确20倍 |
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漂移特性 |
无漂移 |
技术价值总结
基于上述数据，SRG传感器及VIM-2移动式SRG系统的应用价值体现在：
1. 应用范围广泛：可用于离子注入设备IG1-3位置、脱气腔室、低温/真空储罐、输送管线、控制面板、液氢加注站等多种场景
2. 设备兼容性强：适用于离子注入设备、集群设备(PVD/CVD)、高温炉、溅射设备、工业PVD、离子束设备
3. 精度优势显著：比全新电离规至少精确20倍，且无漂移
4. 改造支持：提供改造促销
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