随着精密光学终端市场需求的日新月异，光学镜头等元器件的工艺变革周期越来越短，产业链下游的加工制造商对工艺快速适应变化、指标优异、精益生产及成本控制的要求越来越高。在光学镀膜领域，众多的镀膜加工企业有数万台的镀膜机存量，在新工艺需求及生产运营水平优化的驱动下，无论是用国内还是国外镀膜设备，都亟需工艺升级，以满足新的产品指标要求，以及提高产品良率。
基于快速变化的市场需求，美国 KRI 离子源协助镀膜加工客户，将已有的镀膜机进行改造升级，盘活资产，目前已有国内外多种镀膜机型升级的众多成功案例，有着丰富的经验。
KRI 离子源改造升级镀膜设备五大优势
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优势 |
说明 |
|---|---|
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优势1：接口开放 |
开放型接口，无缝对接国内外主流设备接口 |
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优势2：兼容性强 |
可灵活适配多种机型，满足各类应用场景和市场需求 |
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优势3：智能操控 |
多种通讯方式，实现镀膜机自动操作控制 |
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优势4：性能优异 |
工艺参数优化，助力设备性能大幅提升 |
典型工艺曲线
KRI 离子源在各类型镀膜设备上表现出优异的工艺稳定性，可提供可重复的工艺曲线，确保批次一致性。
反射率曲线
加装 KRI 离子源并进行工艺优化后，镀膜产品的反射率曲线可达到行业先进水平，满足精密光学元件的光学性能要求。
经济效益分析
以红外截止滤光片（IRCF）为例：
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项目 |
无离子源辅助（高温镀） |
加装 KRI 离子源辅助 |
|---|---|---|
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单片市场价值 |
较低 |
显著提升 |
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滤光片价值提升 |
— |
每片单价提升 |
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设备年增值 |
— |
显著提升 |
注：具体增值金额因产品规格、设备配置、产能等因素而异。KRI 离子源的优异性能可帮助客户大幅提升产品附加值，实现投资快速回报。
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参数 |
技术规格 |
|---|---|
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放电方式 |
射频感应耦合等离子体（RFICP） |
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栅极直径 |
30 cm Φ |
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最大离子束流 |
>1500 mA |
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离子能量范围 |
100-1200 V |
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离子束类型 |
聚焦、平行、散射 |
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工作气体 |
Ar, Kr, Xe, O₂, N₂, H₂, 其他 |
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气体流量范围 |
15-50 sccm |
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典型工作压力 |
< 0.5 mTorr |
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中和器 |
LFN 2000 |
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源体尺寸 |
长度：39 cm，直径：59 cm |
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核心特点 |
无灯丝射频放电技术，无电极污染， 模块化设计，自动控制器一键匹配 |
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参数 |
技术规格 |
|---|---|
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放电方式 |
DC 热离子放电 |
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栅极直径 |
4 cm Φ |
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最大离子束流 |
>120 mA（@1000eV） |
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离子能量 |
最高 1200V |
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离子束类型 |
聚焦、平行、散射（OptiBeam™自对准） |
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工作气体 |
Ar, Kr, Xe, O₂, N₂, H₂, 其他 |
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气体流量范围 |
2-10 sccm |
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典型工作压力 |
< 0.5 mTorr |
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中和器 |
灯丝型 |
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配套电源 |
KSC 1202 控制器 |
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源体尺寸 |
长度：17.1 cm，直径：9 cm |
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核心特点 |
紧凑模块化设计，自对准离子光学组件， 无需水冷，双阴极设计 |
KRI 离子源的卓越性能可有效提升镀膜设备的技术水平，帮助客户在市场竞争中获得优势。
KRI 离子源改造升级镀膜设备价值总结
凭借领先的技术实力，KRI 离子源为众多镀膜设备进行了合理改造，协助客户大幅度提高设备整体技术性能，提高工作效率，同时节约资金，达到事半功倍的效果。
KRI 离子源在国内外多种镀膜机型改造的成功，为镀膜工艺升级探索出一条新路，对行业具有重要意义。
KRI 离子源已成功适配以下类型镀膜设备：
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类别 |
机型示例 |
|---|---|
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日系设备 |
多种主流机型 |
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韩系设备 |
多种主流机型 |
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欧系设备 |
多种主流机型 |
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台系设备 |
多种主流机型 |
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国产设备 |
多种主流机型 |
上海伯东代理美国 KRI 全系列离子源产品：
1. RFICP 系列射频离子源：大口径、无灯丝、高束流，适用于大面积光学镀膜、离子束刻蚀、离子束修形等
2. KDC 系列考夫曼离子源：经典直流设计，高性价比，适用于离子辅助沉积、表面清洁、硬质涂层等
3. 其他系列离子源：满足各类离子束工艺需求
上海伯东 是美国 KRI 离子源中国区授权代理商，提供：
1. KRI 全系列离子源产品销售
2. 镀膜设备离子源改造升级服务
3. 离子源安装、调试、培训、维护一站式技术支持
4. 客户现场工艺优化服务
上海伯东是日本 NS 离子蚀刻机, 美国 KRI 考夫曼离子源, 德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计, 德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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