市场信息发布日期：2025-12-19

对抗工艺污染：为何传统真空计在CVD/PVD面前“短命”且“失准”？

在薄膜沉积（PVD、CVD）、刻蚀、烧结等核心工艺中，反应气体、等离子体及溅射物会不可避免地污染真空腔室内的测量仪器——真空计。这种污染直接导致测量失准与设备失效，成为影响良率与成本的隐性杀手。

传统真空计的污染困境：

1. 离子规 (Ion Gauge)：灯丝与栅极极易沉积非导电膜层，导致发射电流变化、灵敏度下降，读数严重漂移。严重时灯丝断裂，完全失效。

2. 电容薄膜规 (Capacitance Diaphragm)：敏感膜片一旦沉积污染物，其机械特性（刚度、张力）发生不可逆改变，导致零点漂移、线性度恶化，且无法现场清洁，通常只能报废。

3. 皮拉尼规 (Pirani Gauge)：加热丝表面污染会改变其热辐射与热传导特性，尤其在低气压下导致校准曲线偏移，精度丧失。

这些污染导致的 “隐性漂移” 难以被即时发现，往往在出现批量产品不良时才会被追溯，代价巨大。

PHI SRG 转子真空计：为抗污而生的颠覆性设计

德国PH Instruments的SRG真空计，从原理和结构上彻底颠覆了传统设计，为严苛污染环境提供了终极解决方案。

抗污核心：独特的“金属球”传感器
SRG的测量核心是一个悬浮于真空中的不锈钢金属球。压力通过测量其旋转减速速率获得。其抗污优势体现在：

1. 污染不敏感：镀膜或沉积物均匀附着在金属球表面，几乎不影响其球形几何特征与旋转惯性，因此对压力测量的核心参数——减速速率——影响微乎其微。

2. 可清洁、可更换：这是最关键的优势。当污染积累到一定程度，用户可以：

- 简易清洁：将传感器球取出，进行物理或化学清洗，即可恢复如新。

- 快速更换：直接更换一个全新的、成本远低于整个规管的 “SEL Sphere”传感器球，耗时仅数分钟。

PHI DosiTorr SRG 在污染环境下的核心参数与优势

SRG磁悬浮转子真空计

特性	PHI DosiTorr SRG 变送器	受污染影响的传统真空计 (离子规/薄膜规)
抗污染原理	测量与球体几何、质量无关的旋转减速。表面均匀镀膜影响极小。	污染直接影响灯丝发射、膜片形变、热丝散热等核心电/机特性。
污染后后果	读数影响极小，精度下降可预测且轻微。	读数严重漂移（>20% 常见），校准曲线失效。
维护操作	仅更换或清洁传感器球 (SEL Sphere)。支持客户自行操作，无需返厂。	需整体更换规管，费用高昂，必须返厂或由专业工程师处理。
维护成本	极低（仅传感器球成本）。	极高（整支规管成本）。
维护停机时间	分钟级 (现场解决)。	数天至数周 (拆卸、送修、重装、校准)。
长期稳定性	年漂移 < 1.5%，受污染影响小。	污染导致漂移剧烈且不可预测，无稳定长期性。
典型适用工艺	CVD, PVD, 刻蚀, MOCVD, 扩散炉等重度污染场景。	清洁或中轻度污染环境。

客户价值：从成本中心到可靠资产

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