根据最新行业调研，全球干式真空泵市场在2025年预计达到171.2亿元人民币，中国市场约为45.57亿元。预计到2032年，全球市场规模将增长至209.44亿元，年均复合增长率约2.92%。干式真空泵因其无油、环保、低噪音、长寿命、高安全性等优势，在工业与制造业、化学与制药、半导体与电子等领域的需求持续上升。
作为全球真空技术的领导者，普发真空提供多系列干式真空泵，包括干式膜片泵、干式活塞泵、干式螺杆泵等，全面覆盖从中低真空到高真空的应用需求。
普发干式膜片泵完全无油，运行安静，寿命长，是涡轮分子泵的理想前级泵，也适用于实验室、分析和化学工业。
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|
型号 |
抽速 (l/min) |
极限压力 (mbar) |
电机功率 (W) |
噪音水平 dB(A) |
特点 |
|---|---|---|---|---|---|
|
MVP 006 |
6 |
≤ 2 |
- |
≤ 50 |
小巧紧凑，适合集成 |
|
MVP 015 |
15 |
≤ 3.5 |
80-120 |
52 |
集成气镇阀，应用广泛 |
|
MVP 020 |
20 |
≤ 2 |
64-80 |
48 |
优化抽速与极限压力 |
|
MVP 040 |
40 |
≤ 4 |
180 |
51-53 |
气镇功能，适用潮湿气体 |
|
MVP 070 |
65 |
≤ 1 |
250 |
45-55 |
可选腐蚀性气体版本 |
|
MVP 160 |
200 |
≤ 2 |
390 |
53 |
大抽速，适用于工业场景 |
HeptaDry™ 系列干式螺杆泵提供从 100 到 600 m³/h 的抽速，极限压力优异，完全无油，适用于冶金、镀膜、冻干等工业领域。
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型号 |
抽速 @50Hz (m³/h) |
极限压力 (mbar) |
电机功率 (kW) |
重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
|
Hepta 100 |
110 |
< 0.05 |
3 |
250 |
|
Hepta 200 |
220 |
< 0.05 |
5.5-7.5 |
305 |
|
Hepta 300 |
320 |
< 0.05 |
7.5-9.2 |
330 |
|
Hepta 400 |
350 |
< 0.05 |
7.5-9.2 |
490 |
|
Hepta 600 |
525 |
< 0.05 |
15-17 |
660-690 |
DuoLine™ 采用磁力耦合驱动，无轴封泄漏，环保可靠，适用于低中真空范围，是干燥、冶金、化工等过程的理想选择。
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|
型号 |
抽速 @50Hz (m³/h) |
极限压力 (mbar) |
电机功率 (kW) |
重量 (kg) |
|---|---|---|---|---|
|
DUO 5 M |
5 |
5×10⁻³ |
0.25 |
19 |
|
DUO 10 M |
10 |
5×10⁻³ |
0.37 |
27 |
|
DUO 20 M |
20 |
5×10⁻³ |
0.55 |
33 |
|
DUO 35 M |
32 |
3×10⁻³ |
1.1 |
56 |
|
DUO 65 M |
62 |
3×10⁻³ |
1.5 |
65 |
应用领域
1. 半导体与电子：PVD、CVD、等离子刻蚀、镀膜、检测
2. 化工与制药：干燥、反应工艺、腐蚀性气体处理
3. 科研与分析：质谱、电镜、表面分析、真空实验
4. 工业制造：冶金、镀膜、真空炉、电子束焊接、包装
普发真空干式真空泵以其卓越的性能、可靠性和环保特性，正助力各行业实现高效、清洁的生产与研发。上海伯东作为普发真空的授权代理，致力于为客户提供全面的产品咨询、技术支持与售后服务。
上海伯东是日本 NS 离子蚀刻机, 美国 KRI 考夫曼离子源, 德国 ph-instruments 磁悬浮转子真空计, 德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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