Dositorr SRG真空计（磁悬浮旋转转子真空计）发布日期：2026-01-05

产品概述：
DosiTorr 是一款基于磁悬浮旋转转子（SRG）技术的超高洁净、高耐腐蚀、高可靠性真空压力测量系统。它可实现对多种传统真空规（如离子规）的1:1直接替换，适用于高纯度、高腐蚀性、高稳定性的工艺环境。其测量范围为 10 mbar 至 5×10⁻⁷ mbar，具备100%线性输出、年漂移＜1.5%、无电子元件置于真空中等优势，是半导体、真空镀膜、离子注入、干法蚀刻等高端制程的理想选择。

核心优势：

  • 高精度与长期稳定性：读数精度达1%，年漂移＜1.5%

  • 抗腐蚀与沉积：不锈钢传感器，适用于腐蚀性气体环境

  • 超洁净测量：无热效应、无电离、无吸气效应，不影响工艺气体

  • 即插即用设计：支持多种电气接口，便于系统集成

  • 多种型号可选：DosiTorr、CaliTorr、DosiTorr extend、DosiTorr config，满足不同安装与烘烤需求

应用领域：

  • 离子注入、干法蚀刻

  • 真空绝缘在线监测

  • 高纯工艺真空测量

  • 传统离子规替代

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