Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 说明书发布日期：2021-03-04

上海伯东日本原装进口小型 Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE, 适用于科研院所, 实验室研究, 干式制程的微细加工装置, 特别适用于磁性材料, 金, 铂及各种合金的铣削加工.

Hakuto 离子蚀刻机 7.5IBE 配置使用美国 KRI Φ8cm 考夫曼离子源, 蚀刻均匀性: ±5%, 硅片 Si 刻蚀速率 ≥20 nm/min, 样品台: 直接冷却(水冷), 0~±90度旋转, 因此射频角度可以任意调整, 蚀刻可以根据需要做垂直, 斜面等加工形状.

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