主要特性:
1. 快速 Regen™ 功能, 可在再生间隔期间延长低温泵的性能
2. 嵌入式微处理器控制系统可增强性能、执行诊断程序并提供通信功能
3. 先进的软件和易用的图形用户界面, 使得操作简单容易
4. 通过您的低温泵网络实现多台泵的同时再生功能, 可使整个系统的再生加速
主要特征
1. 运营成本低
2. 维护快速/ 轻松
3. 高可靠性
4. 底线性能
主要优势:
1. 提供容量余量以用于将来的制程改进
2. 更低的拥有成本
3. 增加的正常运行时间
4. 智能的“自我调节”技术以实现稳定的真空性能
主要优势:
1. 专为离子注入应用而设计
2. 针对工具处理能力进行了优化
3. 智能的 "自我调节" 技术
4. 更低的拥有成本
5. 增加正常运行时间
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