1. 高抽速性能:氮气抽速达 4,500 l/s,满足高流量工艺需求。
2. 即插即用,集成控制器:无需外部控制单元,节省空间,简化安装。
3. 快速启动:仅需 9 分钟 即可达到 23,500 rpm 全速运行状态。
4. 节能运行:支持怠速模式,设备闲置时降低功耗。

| 版本 | 特点 | 适用场景 |
|---|---|---|
| 非加热版本 | 无需额外加热 | 洁净、无腐蚀性环境,如大面积涂层 |
| 温度管理系统(TMS)版本 | 最高温度可达 90°C |
半导体制造及腐蚀性工艺, 防止冷凝和颗粒生成 |
1. 内置传感器:可检测温度、吹扫状态、转速及轴外移动情况。
2. 实时监测:帮助操作员及时发现异常,避免非计划停机。
3. 预测性维护:支持早期故障预警。
4. IoT 功能:可与数字监控系统连接,集成到自动化生产环境。
5. 防护等级:IP54,防尘防溅水,适应苛刻工业环境。
1. 半导体制造
2. 大面积涂层
3. 高气体流量工艺
4. 空间模拟大型真空室抽真空
5. 腐蚀性工艺(TMS 版本)
上海伯东是德国普发 Pfeiffer 真空产品授权代理,为您提供 ATH 4506 M 涡轮分子真空泵的选型、技术支持和售后服务。如需了解更多信息,欢迎联系我们。