KRI LFN 中和器灯丝 | 美国 KRI 离子源

KRI LFN Neutralizer Filament

产品描述

美国 KRI 原装 LFN 中和器灯丝,属于离子源中和器核心消耗件,依靠热电子发射产生电子,中和离子束正电荷,避免基板电荷积累、损伤晶圆 / 光学膜层,广泛搭配 KRI KDC、RFICP 系列离子源,用于离子束镀膜、刻蚀工艺。

  • 产品优势
  • 技术参数
  • KRI LFN 中和器灯丝 | 美国 KRI 离子源 产品优势:

    原厂特种金属灯丝,电子发射稳定,发射效率高

    抗离子轰击,寿命更长,降低更换频次

    匹配 KRI LFN 中和器,即换即用,装配简单

    有效中和离子束,消除基板充电损伤,保护薄膜与基片

  • KRI LFN 中和器灯丝 | 美国 KRI 离子源 技术参数:

    品牌:KRI

    名称:LFN 中和器灯丝 LFN Filament

    功能:热电子发射,离子束电荷中和

    适配:KRI LFN 型中和器,配套 KRI 全系列宽束离子源

    应用:离子辅助沉积 IAD、离子束刻蚀、基片预清洗

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