美国 KRI 原装 LFN 中和器灯丝,属于离子源中和器核心消耗件,依靠热电子发射产生电子,中和离子束正电荷,避免基板电荷积累、损伤晶圆 / 光学膜层,广泛搭配 KRI KDC、RFICP 系列离子源,用于离子束镀膜、刻蚀工艺。
原厂特种金属灯丝,电子发射稳定,发射效率高
抗离子轰击,寿命更长,降低更换频次
匹配 KRI LFN 中和器,即换即用,装配简单
有效中和离子束,消除基板充电损伤,保护薄膜与基片
品牌:KRI
名称:LFN 中和器灯丝 LFN Filament
功能:热电子发射,离子束电荷中和
适配:KRI LFN 型中和器,配套 KRI 全系列宽束离子源
应用:离子辅助沉积 IAD、离子束刻蚀、基片预清洗
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