美国 KRI 原装 RFICP220 离子源专用 3D 栅网组件,集成陶瓷珠绝缘结构,是离子源引出离子束的核心光学部件。栅网采用精密钼材加工,搭配陶瓷珠实现栅极之间绝缘隔离,保障大束流下离子束均匀引出,适配离子束刻蚀、离子束溅射沉积、离子辅助沉积 IAD 等真空工艺。
上海伯东为美国 KRI 中国总代理,提供原装备件供应与技术支持。
1. 原厂原装 3D 成型栅网,离子束均匀度高,束形稳定
2. 配套陶瓷珠一体化设计,绝缘可靠,降低栅极打火风险
3. 耐高温、耐离子轰击,延长离子源连续工作时长
4. 直接匹配 RFICP220 离子源,可快速替换安装
适配机型:KRI RFICP220 射频离子源
结构:3D 立体栅网 + 陶瓷绝缘珠
材质:钼栅网,高纯陶瓷绝缘珠
适用离子束直径:200mm
适用工艺:IAD 离子辅助沉积、离子束溅射、离子束刻蚀
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