KRI 离子源石英杯（主源 RFICP220）| 美国KRI 离子源配件

KRI Ion Source Quartz Cup (Main Source, RFICP220)

产品描述

上海伯东是美国 KRI 离子源中国总代理，供应原装美国 KRI 原装离子源石英杯，作为 RFICP220 射频离子源主源的等离子体放电腔体，高纯石英材质，耐等离子体腐蚀，可承受射频感应耦合放电环境，维持稳定等离子体。

用于半导体刻蚀、光学镀膜、磁材刻蚀等真空离子束工艺，

  • 产品优势
  • 技术参数

  • KRI 离子源石英杯（主源 RFICP220）| 美国KRI 离子源配件 产品优势：

    1. 高纯熔融石英材质，低杂质释放，不污染真空工艺

    2. 耐等离子体侵蚀，抗射频热冲击，使用寿命长

    3. 尺寸≥16cm，匹配 RFICP220 大束流离子源

    4. 原厂精密加工，装配精度高，等离子体稳定性佳

  • KRI 离子源石英杯（主源 RFICP220）| 美国KRI 离子源配件 技术参数：

    适配设备：KRI RFICP220 主射频离子源

    材质：高纯石英

    腔体尺寸：≥16cm

    工作环境：射频感应耦合等离子体

    适用气体：Ar、O₂、N₂等惰性 / 活性工艺气体

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