HVA 三位真空闸阀 真空插板阀 21700 系列产品资料发布日期:2020-05-29

HVA 三位真空闸阀 21700 系列适用于刻蚀、 CVD、真空镀膜和其他需要压力控制工艺的行业。HVA 三位真空闸阀与上游质量流量控制器一起使用时,提供异常压力控制功能,该真空闸阀也适用于从粗真空到高真空的平稳过渡。HVA 三位真空闸阀采用两个气动电磁阀和一个空气压力调节器控制阀门的3种开启方式:一个电磁阀控制阀门的完全关闭和完全开启,另一个电磁阀用于控制和调节阀门的任意开启位置。

上海伯东是美国HVA 真空阀门在中国地区唯一指定总代理商。

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