计算全息图 CGH 作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测, 但 CGH 的基底误差直接限制了非球面的检测精度. 某制造商为了获得超高精度的 CGH 基底, 采用 KRI 考夫曼射频离子源 RFICP220 产生的离子束用于修正高精度 CGH 基底的加工工艺.
伯东 KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:
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离子源型号 |
RFICP 220 |
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Discharge |
RFICP 射频 |
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离子束流 |
>800 mA |
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离子动能 |
100-1200 V |
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栅极直径 |
20 cm Φ |
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离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
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流量 |
10-40 sccm |
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通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
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典型压力 |
< 0.5m Torr |
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长度 |
30 cm |
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直径 |
41 cm |
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中和器 |
LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
运行结果：
1. KRI 考夫曼射频离子源 RFICP220 产生的离子束修正工艺作为一种非接触式确定性光学加工方法, 不仅不会对元件表面施加作用力, 而且还具有加工精度高、去除函数稳定、面形收敛速度快、无边缘效应和亚表面损伤等特点, 非常适用于高精度 CGH 基底的加工.
2. 应用离子束修正高精度 CGH 基底的加工工艺具有较大优势, 不仅具有较高的加工效率而且可以获得超高的加工精度
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