某大型电子元器件制造商采用氦质谱测漏仪 ASM 340 对继电器进行测漏.
氦质谱测漏仪 ASM340D 技术参数:
型号 |
ASM 340 D |
对氦气的最小检测漏率 |
5E-13 Pa m3/s |
检测模式 |
真空模式和吸枪模式 |
检测气体 |
4He, 3He, H2 |
启动时间 min |
3 |
对氦气的抽气速度 l/s |
2.5 |
进气口最大压力 hPa |
25 |
前级泵抽速 m3/h |
隔膜泵 3.4 |
重量 kg |
45 |
选择前级泵为干泵的检漏仪 ASM 340 D, 保证清洁无油, 避免对元器件造成污染.
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