伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340成功用于半导体特殊器件检漏
某知名半导体公司伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对半导体特殊器件进行检漏.
待检漏物品如下：
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数：
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型号
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ASM340
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ASM340 D
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ASM340 I
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对氦气的最小检测漏率
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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3
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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2.5
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2.5
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进气口最大压力 hPa
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25
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25
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5
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前级泵抽速 m3/h
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油泵 15
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隔膜泵 3.4
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不含前级泵
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重量 kg
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56
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45
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32
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半导体器件是导电性介于良导电体与绝缘体之间, 利用半导体材料特殊电特性来完成特定功能的电子器件, 可用来产生, 控制, 接收, 变换, 放大信号和进行能量转换, 对密封性的要求极高, 如果存在泄漏会影响其使用性能和精度, 因此需要进行检漏.
伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 最小检漏漏率达 5E-13 Pa m3/s, 完美解决客户半导体特殊器件存在泄漏的问题.
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