Pfeiffer 普发 检漏仪无损泄露检测发布日期：2020-12-21

上海伯东 普发 pfeiffer 氦质谱检漏仪用于芯片封装检漏


国内某半导体芯片代加工公司采用伯东吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S用于芯片封装检漏,

 

吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S 技术参数：

吸枪便携式氦质谱检漏仪

ASM 102 S

对氦气的最小检测漏率

1x10-8 Pa m3/s
7.5x10-8 Torr l/s
1x10-7 mbar l/s

测量范围(氦气)

1·10-7 至 1 mbar l/s

前级泵

无油干式真空泵

检测气体

4He

操作温度

0-45 °C

噪音比

< 56 dB (A)

尺寸

494 x 456 x 164 mm

启动时间

1.5 min

检测模式

吸枪检漏

重量

18 kg

吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S
 

芯片封装, 一旦出现泄漏, 芯片就会失效, 因此检漏工艺在芯片封装检漏至关重要, 吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S 的最小检漏率 1x10-8 Pa m3/s 完美胜任该工作.

 

上海伯东是德国 普发 Pfeiffer  真空设备, 美国  KRI 考夫曼离子源, 日本  NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国  HVA 真空阀门, 美国  Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本  Atonarp过程质谱仪  和  美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

 

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