伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪用于半导体设备及材料检漏
国内某半导体芯片代加工公司采用伯东吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S用于芯片封装检漏,
吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S 技术参数：
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吸枪便携式氦质谱检漏仪
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ASM 102 S
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对氦气的最小检测漏率
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1x10-8 Pa m3/s
7.5x10-8 Torr l/s
1x10-7 mbar l/s
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测量范围(氦气)
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1·10-7 至 1 mbar l/s
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前级泵
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无油干式真空泵
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检测气体
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4He
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操作温度
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0-45 °C
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噪音比
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< 56 dB (A)
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尺寸
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494 x 456 x 164 mm
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启动时间
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1.5 min
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检测模式
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吸枪检漏
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重量
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18 kg
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芯片封装, 一旦出现泄漏, 芯片就会失效, 因此检漏工艺在芯片封装检漏至关重要, 吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S 的最小检漏率 1x10-8 Pa m3/s 完美胜任该工作.
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