国内某半导体芯片代加工公司采用伯东吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S用于芯片封装检漏,
吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S 技术参数:
吸枪便携式氦质谱检漏仪 |
ASM 102 S |
对氦气的最小检测漏率 |
1x10-8 Pa m3/s |
测量范围(氦气) |
1·10-7 至 1 mbar l/s |
前级泵 |
无油干式真空泵 |
检测气体 |
4He |
操作温度 |
0-45 °C |
噪音比 |
< 56 dB (A) |
尺寸 |
494 x 456 x 164 mm |
启动时间 |
1.5 min |
检测模式 |
吸枪检漏 |
重量 |
18 kg |
芯片封装, 一旦出现泄漏, 芯片就会失效, 因此检漏工艺在芯片封装检漏至关重要, 吸枪氦质谱检漏仪 ASM 102 S 的最小检漏率 1x10-8 Pa m3/s 完美胜任该工作.
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