上海伯东 普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340D 用于 CCD 密封感光器件检漏
国内某研发和制造各种尺寸的复杂精密机电系统公司采用前级泵为干泵的伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340D 对新研发的 CCD 密封感光器件进行检漏.
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号
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ASM340
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ASM340 D
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ASM340 I
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对氦气的最小检检漏率
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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3
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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2.5
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2.5
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进气口最大压力 hPa
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25
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25
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5
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前级泵抽速 m3/h
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油泵 15
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隔膜泵 3.4
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不含前级泵
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重量 kg
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56
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45
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32
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推荐理由：
1. 客户漏率要求: 1.0X10-10 mbar l/s
2. 整个系统需要清洁无油
CCD 感光元件, Charge-coupled Device, 又称为 CCD 图像传感器, 是一种半导体器件, 能够把光学影像转化为数字信号. 一般应用于数字相机和电子显微镜中.
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