伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 用于刀具镀膜机检漏
伯东某客户引进 Platit 镀膜机加装分子泵 Hipace 1500, 旋片泵 Duo 35 用于刀具镀膜, 同时采用伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 对刀具镀膜机进行检漏
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号
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ASM340
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ASM340 D
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ASM340 I
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对氦气的最小检检漏率
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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3
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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2.5
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2.5
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进气口最大压力 hPa
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25
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25
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5
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前级泵抽速 m3/h
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油泵 15
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隔膜泵 3.4
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不含前级泵
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重量 kg
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56
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45
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32
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镀膜机检漏原因：
镀膜机需要在高真空环境下工作, 真空度的好坏直接影响镀膜的品质. 有时候镀膜机的真空度抽不下来或者真空度不好, 可能是接头松动或者有焊缝出现虚焊.
伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪利用氦气作为示踪气体, 最小漏率小于 5E-13 Pa m3/s, 安全环保, 检漏时不需要停机, 直接在真空泵的旁路接入检漏仪便可以快速高效的完成检测了.
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