上海伯东 普发 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM390 用于不锈钢管检漏
某专门生产半导体配件公司采用移动型氦质谱检漏仪 ASM 390 对高端不锈钢管, 阀门和歧管等配件进行检漏, 以验收管件是否达标. 其产品漏率值需要达到 10-9mar l/s.
伯东 Pfeiffer 移动型氦质谱测漏仪 ASM390 技术参数:
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型号
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ASM390
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检测气体
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4He, 3He, H2
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最小检测漏率
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真空模式: 1X10-12 mbar l/s
吸枪模式: 1X10-8 mbar l/s
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对氦气的抽速
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10 l/s
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前级泵抽速
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35 m3/h
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进气口最大压力
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20 mbar
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无校准的启动时间(20°C)
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2 min
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进气口
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DN 40 ISO-KF
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响应时间
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< 1 s
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Interface, 选配
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RS-232, I/O, Ethernet
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噪音
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≤ 55 dB (A)
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重量
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125 kg
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尺寸(LxWxH)
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1072 x 455 x 1025 mm
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待检漏产品:
半导体配件-不锈钢管检漏方法工作示意图如下：
移动型氦质谱检漏仪 ASM 390, ASM 392 优势:
1. 强大的抽空能力
2. 极短的测试时间
3. 大型彩色触摸屏, 无需任何工具即可完全旋转和拆卸
4. 符合人体工学设计, 移动性强
5. 完全符合 Semi S2 标准
上海伯东是德国 普发 Pfeiffer 真空设备, 美国 KRI 考夫曼离子源, 日本 NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国 HVA 真空阀门, 美国 Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本 Atonarp过程质谱仪 和 美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!
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