上海伯东 普发 Pfeiffer ASM 340 氦质谱检漏仪焊接电磁阀检漏
氦质谱检漏仪电磁阀检漏
上海伯东某客户是日本半导体设备厂精密零件供应商, 生产的镭射焊接电磁阀用于半导体设备上, 由于半导体工业上用的气体如矽烷 SiH4, 氨气 NH3 等等都是有毒或有腐蚀性的气体, 所以对所用的阀及相关部件, 漏率要求非常严格, 要求电磁阀成品最终漏率低于 5-10 mbar l / s, 经过伯东推荐采用氦质谱检漏仪 ASM 340 完成电磁阀阀芯的泄漏检测.
电磁阀阀芯需要检漏
客户生产的电磁阀阀芯, 经过镭射焊接后, 怀疑焊缝存在微小的泄漏, 单个阀芯最终漏率需要低于 5-10 mbar l / s.
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电磁阀阀芯检漏方法
来料先用放大镜目视检测, 阀芯镭射焊接完成后再目视检测, 最后用氦质谱检漏仪检漏, 漏率值以检漏仪检测的数据作为标准.
一共有5个型号, 月产量 2000-3000 个.
电磁阀阀芯检漏操作说明
1. 先将阀接入工装, 形成一个密闭的腔体. 再将检漏仪连接到工装上.
2. 启动氦质谱检漏仪, 真空模式下,设置漏率值 5-10 mbar l / s, 检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体, 同时显示一个漏率值.
3. 在电磁阀镭射焊缝和怀疑有漏的地方喷氦气, 同时观察检漏仪上显示的漏率值有无变化.
4. 如果漏率值上升, 说明喷氦气的地方有漏, 该被检对象品质不合格. 如果漏率值能达到要求, 该被检物件合格, 检漏检测完成.
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