上海伯东 普发 Pfeiffer ASM 340 D 氦质谱检漏仪 CVD 钻石长晶炉检漏
氦质谱检漏仪 CVD 钻石长晶炉检漏
长晶炉是用于人工合成晶体的设备. 上海伯东客户浙江某 CVD 人造钻石制造商, 累积采购 5套干式氦质谱检漏仪 ASM 340 D 用于 CVD 钻石生产设备长晶炉检漏, 其生产的人造钻石广泛用于精密切割工具.
长晶炉设备需要检漏: 在 CVD 过程中, 将一片薄的金刚石种子 ( 通常是天然的金刚石) 放置在密封室中, 加热到 800摄氏度左右. 然后通入富碳气体 ( 通常是甲烷 ) 和其他气体. 如果密封室或者气体供应系统有漏, 直接影响原子沉积, 导致无法形成钻石或质量不佳.
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长晶炉设备检漏方法: 上海伯东根据客户生产条件, 推荐每条生产线搭配一台干式氦质谱检漏仪 ASM 340 D, 检漏仪内置2台前级泵 (低噪音, 清洁无油隔膜泵), 保证无任何油雾气污染真空腔, 采用负压法对 Seki 长晶炉设备真空腔和气体供应系统进行检漏, 经过泄漏检测, 生产的人造钻石可以匹配甚至超过天然钻石的质量和特性！
1. 干式检漏仪 ASM 340 开机, 仅需3分钟进入工作状态
2. 按照界面提示, 设置漏率值 1x10-8 mbal l/s
3. 开始检漏, 在怀疑有漏的地方用喷枪喷氦气, 比如焊缝, 管路, 阀门
4. 如果有漏, 检漏仪时时发出声光报警, 协助客户定位定量漏点.
检漏配置
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干式氦质谱检漏仪 ASM 340 D
吸枪模式最小漏率: 5x10-9 mbarl/s (目前业界公认最小漏律)
真空模式最小漏率: 5x10-12 mbarl/s
检测气体: 4He, 3He, H2
检测模式: 真空, 吸枪
对氦气的抽气速度 2.5 l/s
进气口最大压力 25 hPa
前级泵抽速 3.4 m3/h
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