上海伯东 氦质谱检漏仪六种常见检漏方法
检漏与现代工业生产, 维修, 科研等领域密不可分, 传统的检漏有泡泡检漏 Bubble Test, 压差检漏等, 但这些方法有许多局限性和不足, 如精度差, 效率低等, 氦质谱检漏 Helium Leak Test 作为国际公认精度最高的泄露测试方法, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 广泛应用于真空相关领域.
根据示踪气体流向, 氦质谱检漏法可分为真空法 (气体流出工件), 吸枪法 (气体流入工件) 两大类, 上海伯东依据大量客户实际应用总结出常见六种氦检方法:
1. 真空测漏法 / 喷枪（Vacuum Test: Spraying Test）
1）可定位漏点
2）精度很高
3）氦气消耗少 |
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真空测漏法是业内最常使用的一种检漏方法, 广泛应用于精密仪器, 真空钎焊, 压力容器等行业
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氦质谱检漏仪 ASM 340
应用于 5G 基站铜连接器检漏, 真空模式下, 漏率要求 5x10-11pa m3/s
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氦质谱检漏仪 ASM 390
应用于航天领域的激光器零件检漏, 中空夹层设计,, 真空模式下, 焊缝处漏率要求 < 10-9 Atm.cc/s.
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氦质谱检漏仪 ASM 310
半导体用光刻机检漏, 整机真空度需要达到 1x10-11 pa 的超高真空.
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氦质谱检漏仪 ASM 310
内部集成红外探测器的 2m3 杜瓦封装器件, 漏率要求 1.10-8Pa.m3/s.
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2. 吸枪法（Sniffing Test）
1）可定位漏点
2）无需抽真空
电厂检漏一般使用吸枪法
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氦质谱检漏仪 ASM 340
应用于氢燃料电池车的车载供氢系统检漏, 氢气储存于高压气瓶中, 单个气瓶泄漏出的氢气浓度必须小于 6 ppm
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氦质谱检漏仪 ASM 340
对电厂管道, 汽轮机, 冷凝器等进行检漏, 吸枪模式下, 漏率值要求 10-6 mbar
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3. 真空累积测漏（Integral Vacuum Test）
1）精度极高
2）测整体泄露量
3）易于在线检测
4）重复性高 |
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氦质谱检漏仪 ASM 340
采用真空模式检漏, 消防器材钢瓶内部冲有一定压力的氮氦混合气体, 氦气约占 5%的量
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4. 背压法（Vacuum Test: Bombing Test）
1）密封器件的指定检测方法
2）高重复性 |
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氦质谱检漏仪 ASM 340
应用于光通讯设备的封装激光芯片检漏, 激光芯片在 Box 内进行封装, 封装完成后的激光芯片漏率要求小于 5×10-8mbar l/s
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5. 真空累积法（Integral test of enclosed parts under vacuum）
1）易于自动化检测
2）精度极高
3）高重复性 |
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氦质谱检漏仪 ASM 340
新能源电动汽车锂电池外壳检漏. 漏率要求 3.5 x10-4 pa.m3/s, 氦质谱检漏仪集成在生产线中完成检漏
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6. 常压吸枪累积法（Sniffing test: Integral test at atmospheric pressure）
1）易于在线检测
2）无需抽真空
常压吸枪累积法广泛应用于航空航天领域 |
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