上海伯东代理 Pfeiffer普发真空推出 OmniGrade残余气体分析 (RGA)系统.凭借这一全新的产品系列,普发真空将进入清洁度验证系统市场.这些系统可用于使 EUV供应链的组件符合 ASML的清洁度等级 (GSA 07 1221和2221),也可用于其他要求苛刻的应用,如分析仪器生产或粒子加速器的操作.
OmniGrade残余气体分析 (RGA)系统有以下优势:
1. 检测限低,尤其是3室系统
2. 模块化方法
3. 全自动测量过程
4. 全球服务网络
5. 安全的供应链和数十年的 RGA经验
6. 从机械设计到软件开发的广泛专业知识
OmniGrade是一种模块化的系统,相对于其他竞争厂商,我们是首家提供3室系统的公司,能够在放气预算非常小的情况下对小型组件进行测试。针对可用的配置现做出如下概述, 具体可参考下表:
上海伯东 是Pfeiffer普发真空产品的授权代理,从事 Pfiffer系列产品20多年的销售与维修,帮助用户选择合适的型号,并为用户提供完美的售后服务。
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