Pfeiffer 普发 质谱仪应用案例发布日期：2023-11-24

上海伯东 普发Pfeiffer OmniGrade残余气体分析 (RGA) 系统


 

        上海伯东代理 Pfeiffer普发真空推出 OmniGrade残余气体分析 (RGA)系统.凭借这一全新的产品系列,普发真空将进入清洁度验证系统市场.这些系统可用于使 EUV供应链的组件符合 ASML的清洁度等级 (GSA 07 1221和2221),也可用于其他要求苛刻的应用,如分析仪器生产或粒子加速器的操作.

 

OmniGrade残余气体分析 (RGA)系统有以下优势：

1. 检测限低,尤其是3室系统

2. 模块化方法

3. 全自动测量过程

4. 全球服务网络

5. 安全的供应链和数十年的 RGA经验

6. 从机械设计到软件开发的广泛专业知识

 

        OmniGrade是一种模块化的系统，相对于其他竞争厂商，我们是首家提供3室系统的公司，能够在放气预算非常小的情况下对小型组件进行测试。针对可用的配置现做出如下概述, 具体可参考下表:

 

 

上海伯东 是Pfeiffer普发真空产品的授权代理，从事 Pfiffer系列产品20多年的销售与维修，帮助用户选择合适的型号，并为用户提供完美的售后服务。

 

上海伯东是德国 普发 Pfeiffer  真空设备, 美国  KRI 考夫曼离子源, 日本  NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国  HVA 真空阀门, 美国  Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本  Atonarp过程质谱仪  和  美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

 

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