上海伯东某客户是一家超声显示器公司, 该客户主要生产LCD,触摸屏等显示器产品。拥有多条真空镀膜线,能供应触摸屏成品。触摸屏电极镀膜线,一星期左右需要更换靶材和做日常维护。换靶材和维护后,需要做真空腔室的泄漏检测。
客户以前用的是国产某品牌的检漏仪,最近产能扩线后,客户比较了 6 家进口检漏仪,4 家国产检漏仪的参数性能等等。最后选择德国 Pfeiffer 的 ASM 340 这一款检漏仪,客户看中的是Pfeiffer检漏仪的操作简单,性能先进,性价比高的优点.
ASM 340 技术参数:
真空镀膜线的检漏操作:
1)将检漏仪接入机械泵的检漏口,启动检漏仪和镀膜线
2)慢慢打开手动阀,等3秒后,在真空腔室怀疑有漏的地方喷氦气
3)在有漏的地方做好标记,全部检过后,停止检漏仪和镀膜线
4)处理漏点,然后重新检查一遍
5)所有漏点都排除后,检漏完成。
氦质谱检漏仪 ASM 340 应用领域:
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