氦质谱检漏仪为什么选择氦气作为示踪气体
为什么选择氦气作为示踪气体
对示踪气体的要求:
1. 无害: 不能对人体, 环境, 被检件, 检漏仪造成污染, 伤害或是存在安全隐患;
2. 质量轻, 惰性气体, 能穿透微小细缝;
3. 化学性质稳定, 不会起化学反应或易燃易爆;
4. 最好是只有在空气中含量尽可能少的气体, 才能满足检漏灵敏度方面的要求.
示踪气体种类
1. 氢气 H2
2. 氦3（氦气同位素气体)
3. 氦4（He4 ）
目前, 全世界绝大部分氦质谱检漏仪的示踪气体采用的是氦气
一般检漏都用氦气 He 作为示踪气体, 也有用氢气 H2 作为示踪气体的. 氢和氦都是比较理想的示踪气体: 空气中的含量少, 质量轻, 运动速度快, 同等条件下, 直线运动距离长. 实际使用中, 也相对比较容易获取, 可以大量使用. 但氢气在使用中有一定的安全问题，所以实际大部分检漏使用的是氦气.
上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪通常选择氦气作示踪气体, 主要原因如下
1. 氦在空气中及真空系统残余气体中的含量极少 (在空气中约含5.2ppm), 在材料出气中也很少, 因此本底压力小, 输出的本底电流也小. 正因为本底小, 由某些原因引起本底的波动, 亦即本底噪声也就小,因此微小漏率也就能反应出来.灵敏度高.
2. 氦的质量小 (相对分子质量为4) , 易于穿过漏孔. 这样, 氦较除氢以外的其他气体通过同一漏孔的漏率就大, 容易发现, 灵敏度高.
3. 氦是惰性气体, 不与被检件器壁起化学反应, 不会污染被检件, 使用安全.
4. 在氦两侧的是氢 (质荷比为2) 和双电荷原子碳 (质荷比为6) , 质荷比都与氦相差较大. 这样, 它们在分析器中的偏转半径相差也大, 容易分开. 定标找氦峰时, 不易受其他离子的干扰, 因此就降低了对分析器制造精度的要求, 易于加工. 同时, 分析器出口电极及离子源加速极的隙缝也可以加大, 使更多的氦离子通过, 提高了仪器灵敏度.
5. 氦在被检件及真空系统中不易被吸附, 这样检出一个漏孔可以使氦信号迅速消失以便继续进行检漏, 提高了仪器的检漏效率.
结合了 Pfeiffer 与 Adixen 两家氦质谱检漏仪的技术优势, 上海伯东普发 Pfeiffer 提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式检漏仪到检漏模块, 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 利用氦气作为示踪气体可精确定位, 定量漏点. 提供无损泄露检测的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s 并提供泄露数据, 数据可用于改善生产工艺. 氦质谱检漏仪满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.
上海伯东检漏仪推荐型号
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型号
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ASM 340
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ASM 390
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ASM 306S
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ASM 310
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ASI 35
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图片
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特点
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多功能多用途
前级泵可选油泵, 干泵或不配前级泵
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大抽速移动式
无油前级泵
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吸枪嗅探
无油前级泵
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便携式
无油前级泵
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检漏模块
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检漏模式
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真空
吸枪
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真空
吸枪
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吸枪
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真空
吸枪
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真空
吸枪
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检测气体
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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最小检测漏率 Pa m³/s
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真空模式: 5x10-13
吸枪模式: 5x10-10
目前业界公认最小漏律
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真空模式: 1X10-13
吸枪模式: 1X10-9
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吸枪模式: 1X10-8
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真空模式: 5X10-13
吸枪模式: 1X10-8
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真空模式: 5x10-13
吸枪模式: 1.5x10-9
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对氦气的抽速 L/s
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2.5
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10
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-
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1.1
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总泄露模式: 6
常规模式: 1.8
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前级泵抽速 m3/h
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油泵 15
干泵 3.4
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35
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-
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1.7
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-
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进气口最大压力 mbar
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25
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20
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-
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15
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总泄漏测试模式 18
高灵敏度模式: 0.2
常规模式: 1
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进气口
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DN 25 ISO-KF
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DN 40 ISO-KF
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-
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DN 25 ISO-KF
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DN 16 ISO-KF
DN 25 ISO-KF
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重量 kg
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56
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125
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22
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21
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真空模块 14.5，电子模块 4.5 控制面板 1.5
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