Pfeiffer 普发 质谱仪应用案例发布日期:2025-11-12

上海伯东 精准洞察气体成分:GSD 350 质谱仪如何成为您研发与质控的核心


在当今前沿的科研与高端制造领域,对工艺过程中气体成分的实时、精准分析已成为突破技术瓶颈、保障产品一致性的关键。上海伯东代理 普发真空GSD 350 OmniStar / ThermoStar 气体分析系统,正是为满足这一核心需求而生的得力工具。它凭借其卓越的技术性能,成为您洞察微观世界、优化宏观工艺的“眼睛”。

 

GSD 350 核心性能概览

GSD 350 在线质谱仪

技术维度

核心参数

质量范围

1-100 u, 1-200 u, 1-300 u (可选)

最小检测限 (C-SEM)

< 100 ppb (对于100 u型号)

探测器与离子源

C-SEM 检测器,交叉束 (C/B) 双灯丝离子源

进样系统

OmniStar (带阀控制) 或 ThermoStar (常开)

最大样品压力

1200 hPa

样品流量

1 - 2 sccm

毛细管与加热

不锈钢或石英,最高 350°C 加热

真空工作压力

< 5 × 10⁻⁵ hPa

 

核心应用场景揭秘:

1. 催化剂研究与反应机理分析

a. 挑战: 需要实时监测反应过程中瞬态中间产物和最终产物的浓度变化,对灵敏度和响应速度要求极高。

b. GSD 350 解决方案: 高灵敏度的 C-SEM 检测器可检测 < 100 ppb 的组分。OmniStar 的阀控系统允许您在测量背景值后引入反应气体,精确计算各组分分压,为揭示反应路径提供关键数据。

2. 半导体与光伏工艺气体监控

a. 挑战: CVD、蚀刻等工艺腔室中,痕量的水分、氧气污染或前驱体气体的不均匀分解会直接导致产品缺陷。

b. GSD 350 解决方案: ThermoStar 配置的石英毛细管进样系统能有效分析活性气体。系统可实时监控工艺气体纯度与副产物,其 < 5 × 10⁻⁵ hPa 的工作压力保障了测量的稳定与精准。

3. 真空炉与热处理工艺优化

a. 挑战: 在烧结、钎焊等过程中,材料内部释放的气体(如 H₂O, CO, N₂)会严重影响最终产品的密度、强度和纯度。

b. GSD 350 解决方案: 其宽广的质量范围(最高至 300 u) 能有效覆盖多种释放气体。通过分析炉内残余气体,可以精准判断工艺完成点,提升产品质量。

4. 锂电池研发与安全性分析

a. 挑战: 需要精准分析电解液在充放电过程中的分解产气(如 CO₂, C₂H₄等),这是评估电池寿命、安全性能和失效机制的重要依据。

b. GSD 350 解决方案: 其高灵敏度与宽质量范围能有效覆盖大多数电解液溶剂和分解产物。最高350°C的毛细管加热能有效防止高分子量分解物冷凝,确保数据完整。

 

为什么GSD 350是您的最佳选择?

1. 灵活性: 两种进样模式与两种毛细管材质,可针对腐蚀性、吸附性等不同性质的气体进行最佳配置。

2. 可靠性: 集成的涡轮泵与隔膜泵系统确保快速启动和稳定的高真空,是长期连续运行的可靠保障。

3. 智能化: 通过 PV MassSpec 软件,您可以创建自动化的“测量配方”,实现无人值守的长期监测和数据记录。

 

结语:
无论您是希望揭开化学反应的奥秘,还是确保高端制造工艺的万无一失,GSD 350 气体分析系统都能以卓越的技术性能为您提供前所未有的成分分析能力。

 

上海伯东是德国 普发 Pfeiffer  真空设备, 美国  KRI 考夫曼离子源, 日本  NS 离子蚀刻机, 美国 inTEST 高低温冲击测试机, 美国  HVA 真空阀门, 美国  Gel-pak 芯片包装盒,比利时原装进 口 Europlasma 等离子表面处理机 , 日本  Atonarp过程质谱仪  和  美国 Ambrell 感应加热设备 等进口知名品牌的指定代理商 .我们真诚期待与您的合作!

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