伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪 ASM340 用于电子元器件检漏
江苏某大型光子型探测器生产厂商, 通过伯东采购氦质谱检漏仪 ASM340 对电子元器件领域光子型探测器和光探测器的检漏.
氦质谱检漏仪 ASM340 技术参数:
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型号
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ASM340
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ASM340 D
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ASM340 I
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对氦气的最小检检漏率
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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5E-13 Pa m3/s
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检测模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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真空模式和吸枪模式
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检测气体
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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4He, 3He, H2
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启动时间 min
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3
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3
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3
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对氦气的抽气速度 l/s
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2.5
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2.5
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2.5
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进气口最大压力 hPa
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25
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25
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5
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前级泵抽速 m3/h
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油泵 15
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隔膜泵 3.4
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不含前级泵
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重量 kg
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56
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45
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32
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电子元器件需要检漏原因:
光子型探测器（photon detector）, 是利用外光电效应或内光电效应制成的辐射探测器, 也称光电型探测器. 探测器中的电子直接吸收光子的能量, 使运动状态发生变化而产生电信号, 常用于探测红外辐射和可见光. 光子型探测器属于真空电子器件, 对密封性的要求极高, 如果存在泄漏会影响其使用性能, 因此需要检漏.
上海伯东 Pfeiffer 氦质谱检漏仪现已大量应用于电子元器件生产企业.
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